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微细加工技术2000年第4期出版文献
出版文献量（篇）
672
总下载数（次）
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微细加工技术
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Microfabrication Technology
《微细加工技术》创刊于1983年，是国家科委和国家新闻出版署批准，国内外公开发行的中央级重要科技期刊。是国家一级检索刊物，已连续9年被美国工程信息公司Ei数据库收录，是《中国期刊网》、《中国学术期刊（光盘版）》、《中国学术期刊综合评价数据库》全文收录用刊，是《中国科学引文数据库》来源期刊。
主办单位：
中国电子科技集团公司第48研究所
期刊荣誉：
国家一级检索刊物用刊
美国工程信息公司Ei数据库收录
ISSN：
1003-8213
CN：
43-1140/TN
出版周期：
双月刊
邮编：
地址：
出版文献量（篇）
672
总下载数（次）
2
总被引数（次）
4940
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刊名： 微细加工技术发表期刊： 2000年4期页码:摘要： 纳米光刻对于纳米电子学的研究与发展具有非常重要的意义.分子尺寸为0.7纳米且可发生电子束诱导聚合的富勒烯(主要是C60),可以作为电子束抗蚀剂,用于电子束纳米光刻,制作纳米级精细图形.这类抗...
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2. 电子束曝光机束闸电路刊名： 微细加工技术发表期刊： 2000年4期页码:摘要： 介绍了一个输出电压为104V,开关时间为34ns的电子束曝光机束闸电路.
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刊名： 微细加工技术发表期刊： 2000年4期页码:摘要： 介绍了亚微米电子束曝光机光路与结构设计,该电子光学系统采用透镜内偏转设计,系统象差小,偏转灵敏度高,工件面上电流密度大.通过调试和使用,电子束流、最小电子束斑直径等主要设计指标均达要求.
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刊名： 微细加工技术发表期刊： 2000年4期页码:摘要： 利用等离子源离子注入(PSH)技术对冷作模具钢材料Cr12MoV进行不同温度范围的处理,研究了温度在离子注入中对材料表面改性的影响.首先,在参数(如能量、剂量等)相同条件下,改变脉冲频率,即...
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刊名： 微细加工技术发表期刊： 2000年4期页码:摘要： 推导出光刻成像的计算机模拟公式,讨论了光瞳滤波提高光刻分辨率的物理机理,给出了几个实验结果.提出逆傅利叶变换卷积滤波提高光刻分辨率的原理及方法,并和光瞳滤波进行了比较.结果表明:加入适当的光...
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刊名： 微细加工技术发表期刊： 2000年4期页码:摘要： 用苯作工作气体,在一个电子回旋共振(ECR)微波等离子体化学气相沉积系统中制备了含氢非晶碳膜(a-C:H).对苯等离子体作了质谱分析,发现苯分解后形成的主要基团是C2H4等,而不是常规甲烷放...
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刊名： 微细加工技术发表期刊： 2000年4期页码:摘要： 用溶胶-凝胶(Sol-Gel)方法制备了有PbTio3(PT)过渡层的硅基Pb(zr0.53Ti0.47)(O3(PZT)铁电薄膜,顶电极和底电极分别为溅射的金属钛铂层和低阻硅.在低温退火条...
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8. 薄膜沉积法制作菲涅耳透镜刊名： 微细加工技术发表期刊： 2000年4期页码:摘要： 衍射光学元件在国防、生产及科研等领域起着越来越重要的作用.衍射光学元件的制作技术主要包括激光或电子束直写、反应离子刻蚀、离子束铣及薄膜沉积.薄膜沉积法具有精确控制台阶高度及台阶表面较光滑的优...
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刊名： 微细加工技术发表期刊： 2000年4期页码:摘要： 深X射线光刻是制作高深宽比MEMS结构的一个重要方法.提出一种基于硅工艺和双面对准技术的LIGA掩模技术,工艺十分简单.采用该掩模,可进一步解决深X射线光刻中的重复对准多次曝光问题.给出了该...
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10. 形状记忆合金/硅复合膜驱动的微泵刊名： 微细加工技术发表期刊： 2000年4期页码:摘要： 形状记忆合金/硅复合膜驱动的微泵由一个可形变腔体和两个单向硅薄片阀组成.微驱动膜利用NiTi形状记忆合金薄膜相变时具有大的可回复应力和Si衬底膜的反偏置力,产生双向往复振动.采用图形化的Ni...
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刊名： 微细加工技术发表期刊： 2000年4期页码:摘要： 研制了一种工作在1550nm波长范围内的单模光纤微机械可调式光衰减器.该衰减器利用非硅表面微加工工艺(这种工艺采用光致抗蚀剂和溅射铜薄膜作为牺牲层,电镀铁镍层作为结构层来制作MEMS元件)制...
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刊名： 微细加工技术发表期刊： 2000年4期页码:摘要： 设计了一种由电磁驱动的微机械可调式光衰减器.这种光衰减器是由电磁驱动插在两对准单模光纤间隙中的挡光片来实现光功率的衰减.并对该衰减器的插入损耗、光衰减量以及电磁驱动器的性能进行了分析.
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刊名： 微细加工技术发表期刊： 2000年4期页码:摘要： 大行程微动工作台是微细加工设备的重要组成部分,针对当前微动工作台行程小,或行程较大而其检测控制复杂等不足,提出了一种"双足式移动"的新原理,并研制了一台双足式大行程微动工作台.该工作台由两套...
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14. LIGA技术制造微流量计的研究刊名： 微细加工技术发表期刊： 2000年4期页码:摘要： 介绍了利用LIGA技术中的同步辐射光刻、微电铸技术和微装配技术制作微流量计的研究,讨论了微流量计的结构和工作原理,设计和研制了一种微流量计.
微细加工技术基本信息
| 刊名 | 微细加工技术 | 主编 | |
| 曾用名 | |||
| 主办单位 | 中国电子科技集团公司第48研究所 | 主管单位 | |
| 出版周期 | 双月刊 | 语种 |
chi
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| ISSN | 1003-8213 | CN | 43-1140/TN |
| 邮编 | 电子邮箱 | ||
| 电话 | 网址 | ||
| 地址 | 湖南省长沙市 |
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