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微细加工技术2007年第1期出版文献
出版文献量（篇）
672
总下载数（次）
2
总被引数（次）
4940
微细加工技术
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Microfabrication Technology
《微细加工技术》创刊于1983年，是国家科委和国家新闻出版署批准，国内外公开发行的中央级重要科技期刊。是国家一级检索刊物，已连续9年被美国工程信息公司Ei数据库收录，是《中国期刊网》、《中国学术期刊（光盘版）》、《中国学术期刊综合评价数据库》全文收录用刊，是《中国科学引文数据库》来源期刊。
主办单位：
中国电子科技集团公司第48研究所
期刊荣誉：
国家一级检索刊物用刊
美国工程信息公司Ei数据库收录
ISSN：
1003-8213
CN：
43-1140/TN
出版周期：
双月刊
邮编：
地址：
出版文献量（篇）
672
总下载数（次）
2
总被引数（次）
4940
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1. SU-8胶模去除技术刊名： 微细加工技术发表期刊： 2007年1期页码:摘要： 对各种去胶技术的原理、优缺点及其适用场合进行了综述,并结合本实验室的电铸Ni结构去胶试验,对强碱熔盐浴氧化、强酸氧化等经济有效的去胶方法进行了有益发展.最后介绍了SU-8辅助去胶技术,如辅助...
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2. 液态金属镓离子源的制备刊名： 微细加工技术发表期刊： 2007年1期页码:摘要： 叙述了为纳米聚焦离子束装置研制的镓液态金属离子源的制备,并对该离子源的I-V特性、角电流密度、稳定性以及寿命等性能进行了测试,结果表明,该源的各项指标均达到了聚焦离子束系统对液态金属离子源的...
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刊名： 微细加工技术发表期刊： 2007年1期页码:摘要： 根据表面热动力学原理提出了一种成本低廉、制作周期短、易于实现的光刻胶热熔法,阐述了光刻胶热熔法的基本原理,探讨了光刻胶热熔对光刻胶光栅表面刻槽形状的影响.实验中,分别对经过和未经过热熔处理的...
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刊名： 微细加工技术发表期刊： 2007年1期页码:摘要： 本文讨论了利用硅V型槽法制作高精度线性光纤阵列的可行性,介绍了硅V型槽制作机理,对影响器件精度的主要因素进行了分析,并在器件设计、制作中给予充分考虑.根据器件的可靠性要求,分析了用于光纤粘接...
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刊名： 微细加工技术发表期刊： 2007年1期页码:摘要： 在基片上涂布一层厚度均匀的光刻胶层,是衍射光学元件制作中的一个重要步骤.介绍了目前用于衍射光学元件制作的两种主要涂胶方法--提拉法和旋转法,分析了这两种方法的特点和影响胶层厚度的主要因素,尤...
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刊名： 微细加工技术发表期刊： 2007年1期页码:摘要： 利用自组装的方法在硅基片表面形成一层均匀的金纳米粒子掩模,分析了偶联剂对自组装的影响,以金纳米粒子作掩模进行反应离子刻蚀,研究了刻蚀时间对硅纳米柱阵列的影响,提供了一种简单、便宜并且有效的在...
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刊名： 微细加工技术发表期刊： 2007年1期页码:摘要： 平整均匀的大面积金刚石膜是其在电子领域工业化应用的前提.采用微波等离子体化学气相沉积装置,分别用氢气、氮气加空气、氧气对大面积金刚石膜进行了等离子体处理,通过表面形貌和电阻率的均匀性表征金刚...
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刊名： 微细加工技术发表期刊： 2007年1期页码:摘要： 在室温下,采用离子束溅射同时经100 keV Ar+离子轰击的动态离子束混合技术和采用离子束溅射技术这两种方法制备Cr膜,并用XPS,SEM及AES对薄膜的结构、表面形貌、薄膜与基体附着力的...
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刊名： 微细加工技术发表期刊： 2007年1期页码:摘要： 以SF6/O2为刻蚀气体, 采用电子回旋共振等离子体反应离子刻蚀(ECR-RIE)方法进行了氟化非晶碳(a-C:F)低介电常数薄膜的等离子体刻蚀技术研究,结果表明,a-C:F薄膜的刻蚀速率取...
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10. 一种微电解池式微流量传感器的研制刊名： 微细加工技术发表期刊： 2007年1期页码:摘要： 基于电解质溶液导电的特性,研制了可测量微升级流量的高灵敏度微电解池式微流量传感器.由电解反应产生的电流大小确定流体流过的时间t,再根据流体流量Q、管道截面积S及液体通过的时间t,即可以得出流...
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刊名： 微细加工技术发表期刊： 2007年1期页码:摘要： 介绍了一种利用聚二甲基硅氧烷(PDMS)的快速成型来制备模具,再进行热模压制造微流控通道结构的方法.通过在硅片上旋涂SU-8胶进行光刻显影,得到结构模版,在此模版上浇注PDMS,脱模即得到P...
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12. Pyrex7740玻璃深刻蚀研究刊名： 微细加工技术发表期刊： 2007年1期页码:摘要： 研究了以TiW/Au为掩膜,在氢氟酸以及氢氟酸加硝酸溶液中Pyrex7740玻璃的湿法深刻蚀现象.实验发现,在氢氟酸中玻璃的刻蚀速率随溶液温度及浓度的升高而升高,室温下纵/横向侧蚀比最小.在...
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刊名： 微细加工技术发表期刊： 2007年1期页码:摘要： 通过实验和统计分析方法研究了Al在SF6/O2气体干法刻蚀Si中的增强作用机理.研究表明,Al在SF6/O2刻蚀Si中具有增强作用,而且Al的增强作用基本独立,受其它刻蚀条件的影响较小.Al...
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刊名： 微细加工技术发表期刊： 2007年1期页码:摘要： 介绍了一种基于UV-LIGA加工技术的双稳态电磁型RF MEMS开关,该结构由于使用了永磁体单元而使得开关在维持"开"或"关"态时不需要功耗,利用牺牲层UV-LIGA技术实现了开关的微制作....
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15. 短讯刊名： 微细加工技术发表期刊： 2007年1期页码:摘要：
微细加工技术基本信息
| 刊名 | 微细加工技术 | 主编 | |
| 曾用名 | |||
| 主办单位 | 中国电子科技集团公司第48研究所 | 主管单位 | |
| 出版周期 | 双月刊 | 语种 |
chi
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| ISSN | 1003-8213 | CN | 43-1140/TN |
| 邮编 | 电子邮箱 | ||
| 电话 | 网址 | ||
| 地址 | 湖南省长沙市 |
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