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微细加工技术期刊
出版文献量（篇）
672
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4940

微细加工技术

Microfabrication Technology

CSTPCD

《微细加工技术》创刊于1983年，是国家科委和国家新闻出版署批准，国内外公开发行的中央级重要科技期刊。是国家一级检索刊物，已连续9年被美国工程信息公司Ei数据库收录，是《中国期刊网》、《中国学术期刊（光盘版）》、《中国学术期刊综合评价数据库》全文收录用刊，是《中国科学引文数据库》来源期刊。
主办单位：
中国电子科技集团公司第48研究所
期刊荣誉：
国家一级检索刊物用刊  美国工程信息公司Ei数据库收录 
ISSN：
1003-8213
CN：
43-1140/TN
出版周期：
双月刊
邮编：
地址：
湖南省长沙市
出版文献量（篇）
672
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4940
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  • 1. 电子束曝光控制软件系统设计与实现
    作者： 宋志 张今朝 韩立 魏淑华
    刊名： 微细加工技术
    发表期刊： 2007年6期
    页码:  1-4
    摘要： 电子束曝光系统作为复杂半导体加工设备,需要功能强健的控制软件系统来保证其正常运行.介绍了具有自主版权的EB(electron beam)writer电子束曝光控制软件系统,它由版图绘制模块、...
  • 2. 中能离子注入机用静电吸盘
    作者： 孙雪平 肖仁耀
    刊名： 微细加工技术
    发表期刊： 2007年6期
    页码:  5-7
    摘要： 简要介绍了静电吸盘的工作原理,理论分析了六相静电吸盘的工作模式,对静电吸盘进行了结构设计和制作工艺研究,并对静电吸盘的工艺性能尤其是静电吸盘在不同压力的氮气冷却性能进行了研究.实验结果表明....
  • 3. 激光聚焦扫描扇区掩模制作光电码盘新方法
    作者： 王肇志 罗正全 胡松 赵立新
    刊名： 微细加工技术
    发表期刊： 2007年6期
    页码:  8-11
    摘要： 为了改进光电码盘的制作工艺,提高效率,降低成本,提出了一种光电码盘的光刻方法.通过计算机控制激光聚焦扫描扇区掩模制作来选择扇区掩模的码道,采用光学光刻的方法制作码盘,取消了传统码盘光刻的精缩...
  • 4. ICP刻蚀技术在808 nm激光器中的应用
    作者： 王致远
    刊名： 微细加工技术
    发表期刊： 2007年6期
    页码:  12-14
    摘要： 主要研究了GaAlAs/GaAs多层结构波导的ICP(inductiveIy coupled plasma)刻蚀,评述了使用PECVD制作的SiO2做掩膜的优点,分析了气体选择比对侧向钻蚀控...
  • 5. 柔性衬底上六噻吩薄膜的有序生长
    作者： 梁氏秋水 沐俊应 陈振兴
    刊名： 微细加工技术
    发表期刊： 2007年6期
    页码:  15-17,39
    摘要： 采用石英晶体微天平实时监测薄膜生长速率,控制衬底温度和生长速率,分别在柔性聚乙烯吡咯烷酮(PVP)绝缘层和柔性氧化铟锡(ITO)透明导电层上真空蒸发沉积了分子有序排列的六噻吩薄膜.X射线衍射...
  • 6. 蓝宝石衬底上二维亚波长增透结构的设计分析
    作者： 刘正堂 徐启远 李阳平 闫峰
    刊名： 微细加工技术
    发表期刊： 2007年6期
    页码:  18-20
    摘要： 利用等效介质理论、薄膜理论研究了二维亚波长结构的增透设计,以蓝宝石衬底为例,研究了二维亚波长结构的增透设计,分析了该结构的周期、占空比、高度等参数对增透率的影响,通过分析找到了合适的结构参数...
  • 7. 等离子辅助化学气相沉积制备可延展的硅薄膜
    作者： 谢凯 韩喻
    刊名： 微细加工技术
    发表期刊： 2007年6期
    页码:  21-23
    摘要： 利用等离子辅助化学气相沉积方法在单晶硅基底表面制备出可延展的硅薄膜.通过对薄膜生长过程的观察,确定延展性是最终脆性硅薄膜生长的中间状态,实验证明,沉积层表现出的延展性与螺旋带等柔性材料存在本...
  • 8. Zn1-xCoxO纳米复合薄膜的磁特性
    作者： 任妙娟 唐海马 张军 赵鹏
    刊名： 微细加工技术
    发表期刊： 2007年6期
    页码:  24-26
    摘要： 用磁控溅射交替沉积和退火的方法制备了不同Co含量的ZnO纳米颗粒薄膜Zn1-xCoxO,并研究了其磁特性.发现室温下的比饱和磁矩随Co含量x(体积比)的减小而单调下降,矫顽力在x=0.5附近...
  • 9. 蓝宝石衬底的化学机械抛光工艺研究
    作者： 赵之雯
    刊名： 微细加工技术
    发表期刊： 2007年6期
    页码:  27-30
    摘要： 由于蓝宝石衬底片的精密加工工艺复杂,最优工艺参数尚未明确,是目前国内重点研究的难题.采用X62 81521型抛光机对蓝宝石衬底片的精密加工技术一化学机械抛光工艺进行了研究.通过对蓝宝石抛光工...
  • 10. 反相微乳法制备锆锰掺杂六铝酸盐催化剂的研究
    作者： 余倩 余林 凌伟军 孙明 张绮旎 江东权 王苑娜 莫春生
    刊名： 微细加工技术
    发表期刊： 2007年6期
    页码:  31-34
    摘要： 利用三相图确定了稳定的OP-10乳化剂/正丁醇/环己烷/水反相微乳体系,并采用反相微乳法和超临界干燥技术制备了纳米锆锰掺杂六铝酸盐催化剂.X射线衍射(XRD)、透射电子显微镜(TEM)、比表...
  • 11. 微细电铸电流密度的有限元分析
    作者： 何冀军 朱学林 李国锋 王翔 黄文浩
    刊名： 微细加工技术
    发表期刊： 2007年6期
    页码:  35-39
    摘要： 微细电铸过程中,阴极表面的电流密度分布直接影响沉积层的质量.通过对电沉积基本原理的分析,得到了电流密度及其分布对电沉积过程和沉积层质量的影响关系,结果表明,阴极表面金属层的沉积速率与电流密度...
  • 12. 短讯两则
    作者：
    刊名： 微细加工技术
    发表期刊： 2007年6期
    页码:  39,44
    摘要：
  • 13. 一种基于薄膜体声波谐振器的高灵敏度质量传感器
    作者： 周海峰 李侃 董树荣 韩雁 马绍宇
    刊名： 微细加工技术
    发表期刊： 2007年6期
    页码:  40-44
    摘要： 介绍了一种针对于生物传感应用的薄膜体声波谐振(thin film bulk acoustic resonator,FBAR)质量传感器.薄膜体声波谐振器谐振频率非常高(能够达到几兆赫兹),同...
  • 14. 一种新型的全局互连结构及其加工方法
    作者： 刘兴刚 张丛春 杨春生 石金川
    刊名： 微细加工技术
    发表期刊： 2007年6期
    页码:  45-47
    摘要： 随着特征尺寸的缩小,互连成为制约集成电路性能提高和成本下降的主要因素.为了降低互连延迟,提出了一种全新的全局互连结构,即利用掩膜电镀和CMP技术形成三维的铜互连结构,再利用牺牲层技术将三维结...
  • 15. 磁头滑块的湿法与干法刻蚀实验研究
    作者： 孟永钢 李宁 林晶 谭晓兰
    刊名： 微细加工技术
    发表期刊： 2007年6期
    页码:  48-51,56
    摘要： 主要研究了计算机硬盘磁头滑块的微加工实验方法.首先以一种典型的磁头滑块结构为例,进行了掩模版的设计与制作;然后利用光刻、湿法刻蚀和干法刻蚀的工艺及设备,分别进行了该磁头滑块结构的湿法和干法刻...
  • 16. Cu互连应力迁移失效有限元分析
    作者： 刘彬 刘静 吴振宇 杨银堂 汪家友
    刊名： 微细加工技术
    发表期刊： 2007年6期
    页码:  52-56
    摘要： 为研究铜互连系统中各因素对残余应力及应力迁移失效的影响,建立了三维有限元模型,用ANSYs软件分析计算了Cu互连系统中的残余应力分布情况,并对比分析了不同结构、位置及层间介质材料的互连系统中...
  • 17. 利用C6H8O7/H2O2溶液对AlxGa1-xAs/GaAs的
    作者： 倪海乔 朱彬 李文兵 杜云 杨晓红 韩勤
    刊名： 微细加工技术
    发表期刊： 2007年6期
    页码:  57-61
    摘要： 针对MEMS(micro-electro-mechanical svstem)工艺中牺牲层的选择性腐蚀问题,提出了一种判断牺牲层是否完全腐蚀的新方法,解决了这一工艺难点.测定了C6H8O7/...
  • 18. Pyrex玻璃凹槽刻蚀及槽底粗糙度研究
    作者： 侯占强 吴学忠 江平 肖定邦
    刊名： 微细加工技术
    发表期刊： 2007年6期
    页码:  62-64
    摘要： 介绍了用于电容式微传感器的玻璃基底加工方法.目前玻璃刻蚀掩膜层的制作工艺复杂,实验中采用机械掩膜方法,较简单地腐蚀出玻璃凹槽,没有脱膜或钻蚀现象.同时对凹槽底面粗糙度进行了研究,并提出了改善...

微细加工技术基本信息

刊名 微细加工技术 主编
曾用名
主办单位 中国电子科技集团公司第48研究所  主管单位
出版周期 双月刊 语种
chi
ISSN 1003-8213 CN 43-1140/TN
邮编 电子邮箱
电话 网址
地址 湖南省长沙市

微细加工技术评价信息

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期刊荣誉
1. 国家一级检索刊物用刊
2. 美国工程信息公司Ei数据库收录

微细加工技术统计分析

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