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微细加工技术

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Microfabrication Technology

CSTPCD

《微细加工技术》创刊于1983年，是国家科委和国家新闻出版署批准，国内外公开发行的中央级重要科技期刊。是国家一级检索刊物，已连续9年被美国工程信息公司Ei数据库收录，是《中国期刊网》、《中国学术期刊（光盘版）》、《中国学术期刊综合评价数据库》全文收录用刊，是《中国科学引文数据库》来源期刊。

主办单位：

中国电子科技集团公司第48研究所

期刊荣誉：

国家一级检索刊物用刊 美国工程信息公司Ei数据库收录

ISSN：

1003-8213

CN：

43-1140/TN

出版周期：

双月刊

邮编：

地址：

湖南省长沙市

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热门刊内文献

年度刊次

1. 微机电系统封装技术

作者：宁叶香李鹏潘开林颜毅林

刊名：微细加工技术

发表期刊： 2008年1期

页码: 1-5,53

摘要：首先提出了MEMS封装技术的一些基本要求,包括低应力、高真空、高气密性、高隔离度等,随后简要介绍了MEMS封装技术的分类.在此基础上,综述了三个微机电系统封装的关键技术:微盖封装、圆片级芯片...
2. BF2+离子注入时磷杂质离子污染控制的研究

作者：彭坤林大成

刊名：微细加工技术

发表期刊： 2008年1期

页码: 6-10

摘要：同一台离子注入机B,P离子交叉注入,残留的磷和BF3分解产生的F生成50PF+,成为难控隐患.研究指出,实际注入晶圆的平均质量数,呈以目标离子质量数为中心的正态分布;49BF2+与50PF+...
3. 离子注入机大行程垂直扫描系统的研制

作者：肖仁耀许波涛

刊名：微细加工技术

发表期刊： 2008年1期

页码: 11-13

摘要：采用垂直扫描系统是离子注入机最常用的扫描方式之一,着重阐述了一种大行程垂直扫描系统的系统构成、设计思路和实现方法.经过实际使用证明,该系统提高了离子注入机机械扫描的可靠性和稳定性.
4. 用X光光刻法制备亚波长抗反射结构

作者：杉山进李以贵

刊名：微细加工技术

发表期刊： 2008年1期

页码: 14-16,34

摘要：为了提高太阳电池的转换效果,降低反射光栅的偏振敏感性,开发了一种新的抗反射结构的微细加工技术.首先用X光光刻在PMMA光刻胶上得到相应的亚微米级的线宽图形,再利用显影技术获得了高深宽比的立体...
5. 用于ICF驱动器的色分离光栅的制作

作者：刘刚田扬超胡新宁

刊名：微细加工技术

发表期刊： 2008年1期

页码: 17-20

摘要：介绍了色分离光栅的设计原理,并对其制作工艺进行了研究.用套刻法以能量为450 eV、束流密度为80 mA/cm2、30°入射角的离子束对100 mm×100 mm石英基片进行刻蚀,制作出了周...
6. 靶材自制ZAO薄膜的制备与光电性能

作者：刘心宇李海麒江民红

刊名：微细加工技术

发表期刊： 2008年1期

页码: 21-25

摘要：采用传统陶瓷烧结工艺,制得性能良好的Al掺杂ZnO陶瓷靶.以此靶为溅射源,利用射频磁控溅射法制备ZAO薄膜,着重研究了400℃保温2 h重复退火次数对ZAO薄膜的组织结构及光电性能的影响.结...
7. A1掺杂ZnO薄膜的XPS谱及电学性质研究

作者：冯世娟方亮李丽李秋俊董建新陈希明

刊名：微细加工技术

发表期刊： 2008年1期

页码: 26-30

摘要：采用直流反应磁控溅射法在玻璃基底上用Zn(99.99%)掺杂Al(1.5%)靶制备出高质量的Al掺杂的ZnO(AZO)薄膜.用X射线光电子能谱仪对退火处理后的薄膜进行了成分和元素的价态分析,...
8. 采用丙酮催化燃烧法制备多壁碳纳米管

作者：任鹏飞张红丹朱光李飞王茂发程进苏燚邹小平

刊名：微细加工技术

发表期刊： 2008年1期

页码: 31-34

摘要：为了探索一种简单而有效的制备多壁碳纳米管的方法,以丙酮为碳源,硝酸镍为催化剂先体,通过催化燃烧工艺在铜薄片基底上制备了多壁碳纳米管.采用扫描电子显微镜、透射电子显微镜、拉曼光谱仪对样品进行表...
9. 静电纺丝法制备钇铁石榴石单晶纳米纤维

作者：候建梅张溪文陈莹莹韩高荣

刊名：微细加工技术

发表期刊： 2008年1期

页码: 35-39

摘要：介绍了用静电纺丝法制备钇铁石榴石(YIG)磁光单晶纳米纤维材料的研究工作,其主要制备方法是将合成YIG所需金属元素的醇盐溶解于有机溶剂,通过静电纺丝法制备出了复合超细纤维,然后进行热处理,得...
10. 可逆示温微胶囊的制备及性能研究

作者：乔吉超柏雪倩管萍胡小玲

刊名：微细加工技术

发表期刊： 2008年1期

页码: 40-44

摘要：采用油相分离法,以示温变色材料CoCl2·6H2O为芯材料,乙基纤维素、聚乙烯为壳材料,Span80为乳化剂,环己烷(HC)为溶剂,制备了可逆示温微胶囊.利用扫描电子显微镜、光学显微镜和热台...
11. 氧化铝/聚甲基丙烯酸复合粒子的抛光性能

作者：张泽芳雷红

刊名：微细加工技术

发表期刊： 2008年1期

页码: 45-48

摘要：在化学机械抛光(CMP)中,为了提高氧化铝磨料的分散稳定性及减少抛光划痕,通过硅烷偶联剂在其表面接枝了聚甲基丙烯酸(PMAA)制得了一种新型的复合粒子(α-Al2O3-g-PMAA).SEM...
12. 基于MEMS技术的微型燃烧器的特性分析与设计

作者：冉景煜唐强张力邱贇闫云飞马盟

刊名：微细加工技术

发表期刊： 2008年1期

页码: 49-53

摘要：为了改善微型燃烧器内的燃烧性能,分析了微型燃烧器燃烧时存在的主要问题,并提出了相应的燃烧策略.根据微型燃烧器的特点,采用旋流预混、增设预混通道、燃气出口通道和简化管道接气装置等方法对微型燃烧...
13. 碳纳米尖端形成的理论分析

作者：党纯王廷志

刊名：微细加工技术

发表期刊： 2008年1期

页码: 54-58

摘要：用CH4,H2和NH3为反应气体,利用等离子体增强热丝化学气相沉积在沉积有碳膜的Si衬底上制备了碳纳米尖端.用原子力显微镜和微区Raman光谱仪对碳膜进行了表征,结果表明,碳膜是粗糙不平的非...
14. 微凸起及微坑结构的放电加工基础性研究

作者：云乃彰杨志伟陈建宁

刊名：微细加工技术

发表期刊： 2008年1期

页码: 59-64

摘要：机械零件表面形成微凸起及微坑结构在摩擦学、仿生制造等领域具有重要意义.微细电火花加工是一种重要的精密微细加工技术,已经成为微三维实体制造的有效手段之一.通过选用合适的切割轨迹和电参数,能以电...
15. PI参数自整定扫描探针显微镜控制器的设计

作者：侯锡立靳鹏云

刊名：微细加工技术

发表期刊： 2008年2期

页码: 1-4

摘要：为了解决传统扫描探针显微镜(SPM)控制器中参数难以设定的难题,提出了一种SPM的PI参数自整定控制器的设计,并给出了控制器的硬件结构和软件设计.该控制器基于DSP,通过引入扫描式参数优化算...
16. 高速偏放系统噪声抑制技术的研究

作者：姚作宾张玉林魏守水

刊名：微细加工技术

发表期刊： 2008年2期

页码: 5-7

摘要：为使亚微米电子束曝光机的高速偏放系统寻址率达到6 MHz,噪声小于200μV的技术指标,从偏转放大器的设计、信号传输、D/A转换和系统的屏蔽、隔离等几方面考虑,对噪声的产生进行分析研究,采取...
17. 霍尔传感器特性曲线的样条函数拟合方法

作者：廖海生邓重一

刊名：微细加工技术

发表期刊： 2008年2期

页码: 8-11,56

摘要：为了对霍尔传感器特性曲线进行有效的拟合,分析了三次样条函数在霍尔传感器特性曲线拟合中的理论,应用软件Matlab 6.5结合实验数据对UGM3501U型传感器的UH-B曲线进行了拟合,给出了...
18. α-Fe2O3纳米粉体的低温燃烧合成与表征

作者：李文戈金华峰

刊名：微细加工技术

发表期刊： 2008年2期

页码: 12-14,18

摘要：以硝酸铁.聚乙烯醇为反应体系,采用低温燃烧合成法制备了α-Fe2O3粉体.通过X射线衍射、扫描电镜、透射电镜和能谱分析等测试手段,对产物进行了表征.结果表明,硝酸铁和聚乙烯醇的摩尔比为1∶0...
19. 氨化法制备大量单晶Ga N纳米线及其特性研究

作者：庄惠照李红杨兆柱秦丽霞薛成山陈金华

刊名：微细加工技术

发表期刊： 2008年2期

页码: 15-18

摘要：利用磁控溅射技术先在硅村底上制备Ga2O3/Co薄膜,然后在管式炉中通入流动的氨气在950℃对薄膜进行氨化,反应后成功制备出大量GaN纳米线.采用X射线衍射(xRD)、傅里叶红外吸收光谱(F...
20. 纳米非晶态Ni(OH)2电极材料的稀土掺杂改性研究

作者：刘长久吴华斌孙丹谷得龙

刊名：微细加工技术

发表期刊： 2008年2期

页码: 19-22

摘要：为了提高镍基二次电池正极材料的电化学性能,采用微乳液快速冷冻沉淀法制备出稀土Ce掺杂纳米级非晶态氢氧化镍粉体材料.采用Raman,XRD,SEM和TEM对其结构形态进行了表征分析,采用交流阻...
21. 硅基热电堆真空传感器的制造技术

作者：梁平治程正喜陈世军马斌

刊名：微细加工技术

发表期刊： 2008年2期

页码: 23-27,32

摘要：发展了一种与CMOS工艺完全兼容并可在商业化的1.2μm标准CMOS生产流水线上进行流片的硅基热电堆真空传感器的制造技术与流程.传感器为悬浮的多层复合薄膜结构,其上制作了n型多晶硅加热器和2...
22. 计算机硬盘微晶玻璃基板抛光研究

作者：刘学璋王柏春翟海军许向阳谢圣中

刊名：微细加工技术

发表期刊： 2008年2期

页码: 28-32

摘要：计算机硬盘微晶玻璃基板的微观结构性能与化学成分都不连续,显微硬度非常高(900 kg/mm2～1 000 kg/mm2),难以获得亚纳米级光滑表面.讨论了微晶玻璃基板结构性能、抛光机理、抛光...
23. 柔性压电式微位移机构动态特性的实验研究

作者：孙宝玉

刊名：微细加工技术

发表期刊： 2008年2期

页码: 33-36

摘要：设计了一种压电式微位移机构,采用对称杠杆式柔性铰链放大机构对压电陶瓷输出位移进行放大,弥补了压电陶瓷位移行程过小的缺点.对微位移机构力学模型和压电陶瓷驱动器的动态特性进行了分析,指出压电陶瓷...
24. 固相悬浮研磨法制备纯氧化锆超细粉

作者：李爱梅杨绪杰段国荣汪信陆路德

刊名：微细加工技术

发表期刊： 2008年2期

页码: 37-42

摘要：为制备分散性良好的纯氧化锆超细粉,以廉价的无机盐氧氯化锆和草酸为反应原料,新型的乳液体系为液体悬浮研磨介质,开创了固相悬浮研磨法.应用X-射线衍射(XRD)、拉曼光谱和透射电子显微镜对产品进...
25. 柔性神经微电极阵列设计及微加工工艺研究

作者：任秋实倪鹤南吴义伯徐爱兰惠春李刚邢玉梅

刊名：微细加工技术

发表期刊： 2008年2期

页码: 43-47

摘要：采用聚对二甲苯(parylene)作为基底,通过对柔性神经微电极阵列结构、引线排布、电极材料等进行优化选择和设计,并采用微机电加工工艺(MEMS),设计并研制出了2×8柔性神经微电极阵列,旨...
26. 微球体尺度对硅片表面改性效果的影响

作者：吴虎城张德坤李伟

刊名：微细加工技术

发表期刊： 2008年2期

页码: 48-51,56

摘要：以单晶硅(110)和C+注入硅片后形成的表面改性层为研究对象,对C+注入单晶硅后的离子分布深度概率进行模拟计算,选择不同直径尺度的SiO2球与其配副,在UMT-Ⅱ微摩擦磨损试验机上开展微载荷...
27. 莫尔条纹噪声控制及细分精度分析

作者：吕孟军郭琪

刊名：微细加工技术

发表期刊： 2008年2期

页码: 52-56

摘要：为保证莫尔条纹电子学细分的精度和倍数,高质量信号的获得是前提条件,因此莫尔条纹的正交性、电平漂移、谐波失真及噪声污染等指标需要得到严格控制.针对噪声控制,提出了一种基于变步长神经网络的自适应...
28. 氧化锌薄膜体声波谐振器的研制

作者：乔东海汤亮汪承灏郝震宏

刊名：微细加工技术

发表期刊： 2008年2期

页码: 57-60

摘要：介绍了一种薄膜体声波谐振器和它的制备流程.该谐振器采用氧化锌压电薄膜作为压电材料,通过从硅片背部体刻蚀硅衬底的方法得到谐振器的支持层.为了避免残余应力引起的支持层起皱现象,采用氮化硅/二氧化...
29. 镍/碳纳米管复合薄膜的制备及其性能的研究

作者：刘萍吴嘉浩张亚非徐东

刊名：微细加工技术

发表期刊： 2008年2期

页码: 61-64

摘要：结合电泳沉积碳纳米管和电镀金属镍的方法,在导电基片上成功制备了镍/碳纳米管复合薄膜.观察了薄膜的形貌和成份,测试了所制备的镍/碳纳米管复合薄膜的表面电阻和场发射特性,并与传统的电泳方法制备的...
30. 基于扫描电子显微镜的集成电路显微拍摄系统

作者：刘伟殷伯华

刊名：微细加工技术

发表期刊： 2008年3期

页码: 1-4

摘要：提出使用扫描电子显微镜来获取集成电路芯片的形貌图像,以弥补光学显微镜分辨率的不足.利用拼接的方法来获得完整的芯片形貌图像.描述了压电陶瓷电机驱动工件台的工作原理.该工件台的定位误差小于20 ...

微细加工技术基本信息

刊名	微细加工技术	主编
曾用名
主办单位	中国电子科技集团公司第48研究所	主管单位
出版周期	双月刊	语种	chi
ISSN	1003-8213	CN	43-1140/TN
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