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真空
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本杂志是中国真空界主要杂志之一。自1994年真空杂志转换经营机制以来，由我国真空企业界实力雄厚的厂家与杂志社联办成立董事会，并由真空学术界著名学者组成编委会。社会效益与经济效益与日俱增，在国内真空界享有盛誉。自1989年公开发行以来，被美国、英国、德国、日本、意大利、韩国以及港澳地区越来越多的海外学者所关注。
主办单位：
中国机械工业集团公司沈阳真空技术研究所
期刊荣誉：
中国期刊网、光盘国家工程中心用刊
工程技术类核心期刊
ISSN：
1002-0322
CN：
21-1174/TB
出版周期：
双月刊
邮编：
110042
地址：
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31. 氮化硅膜材料的技术应用与分析刊名： 真空发表期刊： 2009年2期页码:摘要： 叙述氮化硅薄膜的制备工艺、敏感机理;描述氮化硅,硅离子敏感半导体电极的结构布置、技术参数和试制过程,在氮化硅膜上增加了一层化学敏感及选择性较好的PVC(聚乙烯)薄膜;考察了电极对离子的选择性...
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刊名： 真空发表期刊： 2009年2期页码:摘要： 实验以合金靶材在玻璃衬底上运用直流反应磁控溅射法制备了ZAO(ZnO:Al)透明导电薄膜样品.研究了O2气流量,衬底温度,以及反应气压和溅射功率等工艺参数对ZAO薄膜沉积速率的影响规律.结果...
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刊名： 真空发表期刊： 2009年2期页码:摘要： 液环真空泵是广泛应用于石油、化工、冶金、矿山、电力、轻工等行业的基础设备.液环泵内的流动属于十分复杂的非稳态气液两相流动,目前还存在着能耗高、效率偏低等问题,而现有的理论分析无法准确描述液环...
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刊名： 真空发表期刊： 2009年2期页码:摘要： BEPCⅡ同步辐射要求储存环真空室在束流运行时具有较高的真空度,而在供光初期由于束流清扫不够,往往难以达到足够高的真空度,因而束流寿命较低.通过激活同步辐射储存环上的钛升华泵可以明显提高真空...
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35. 设计参数对滑阀真空泵性能的影响刊名： 真空发表期刊： 2009年2期页码:摘要： 主要讨论设计参数对滑阀真空泵性能的影响,对影响滑阀泵的极限压力、抽气速率、功率及噪声等性能的因素进行了具体的分析,并提出了有利于提高滑阀真空泵性能的设计思路.间隙是影响滑阀真空泵性能的最主要...
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36. 真空等离子体天线的基本特性研究刊名： 真空发表期刊： 2009年2期页码:摘要： 利用根据单极表面波驱动等离子体天线原理建立的等离子体天线,通过实验和理论方法验证了单极表面波等离子体天线的等离子体长度与所加射频功率的关系,主要研究了不同射频功率相同充气气压和射频功率相同不...
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刊名： 真空发表期刊： 2009年2期页码:摘要： 真空触发开关TVS(Trggered Vacuum Suitch)是高功率脉冲技术领域的重要开关器件之一,它具有结构紧凑、介质恢复迅速、操作无噪声、工作可靠性高、环境适应性强等优点,在中压领...
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38. 降低真空冷却失水的方法研究刊名： 真空发表期刊： 2009年2期页码:摘要： 提出相对失水率的概念,作为比较真空冷却过程中实际失水高于理论失水程度的判断依据.以水作为研究对象,采用不同的方法进行降低无效失水的实验,结果是水面上不加遮挡物时,其相对失水率高达2.0以上;...
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刊名： 真空发表期刊： 2009年2期页码:摘要： 本文在建立单轴跟踪槽式太阳能集热器模型的基础上,着重分析了集热装置的热效率和火用效率,并以此为基础确定各个因素,主要是槽式集热器的聚光比、光照强度、集热流体的温升对集热效率和火用效率的影响....
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40. 第十六讲真空系统的操作与维护刊名： 真空发表期刊： 2009年2期页码:摘要：
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41. 电炉真空系统的设计与计算(二)刊名： 真空发表期刊： 2009年3期页码:摘要： 为了满足目前一些读者的需要,我们较系统地介绍了前苏联这方面的有关资料(文中保留原使用单位Torr,1 Torr=133 Pa).内容有电炉真空系统计算的理论基础与计算方法及有关数据,最后给出...
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刊名： 真空发表期刊： 2009年3期页码:摘要： 真空退火是钛、锆等稀有金属及合金材加工的重要工艺过程,真空退火炉的真空度、控温精度和温区均匀性要求越来越受到人们的重视.针对大型钛、锆管材真空退火炉的工艺和控制要求,采用研华工控机(IPC)...
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43. 碳化钙真空还原镁热力学分析及试验刊名： 真空发表期刊： 2009年3期页码:摘要： 本文通过对碳化钙还原MgO的化学反应热力学研究,计算得到:在常压下该反应的临界反应温度为2148 K;在真空条件时还原反应临界温度降低,当压力降低至1 kPa时,临界反应温度为1395 K....
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刊名： 真空发表期刊： 2009年3期页码:摘要： 高功率脉冲磁控溅射技术(HPPMS)作为一种溅射粒子离化率高、可以沉积致密、高性能薄膜的新技术已经在国外广泛研究,但在国内尚未见研究报道.本文介绍了近十年来HPPMS技术在电源、脉冲形式、放...
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45. 新型等离子体束溅射镀膜机刊名： 真空发表期刊： 2009年3期页码:摘要： 本文介绍了新型的等离子体束溅射镀膜机的系统组成、特点、试验结果等内容.该镀膜机将等离子体发生和控制技术应用于溅射镀膜中,克服了磁控溅射的靶材利用率低及难以沉积铁磁性材料的缺点.使用该镀膜机成...
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46. 书讯刊名： 真空发表期刊： 2009年3期页码:摘要：
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刊名： 真空发表期刊： 2009年3期页码:摘要： 对离子束混合技术在不锈钢基体上沉积C-90%SiC涂层进行不同温度的加热处理及H+注入.对加热处理前后H+注入涂层表面进行了SEM的观察,研究涂层表面加热处理前后鼓泡数量及分布的变化.通过A...
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48. 金刚石薄膜摩擦学性能研究进展刊名： 真空发表期刊： 2009年3期页码:摘要： 化学气相沉积的金刚石薄膜通常是一种表面粗糙的多晶薄膜,其摩擦系数相对于单晶金刚石明显偏高,制约着其在摩擦学领域的应用.本文介绍了近年来国内外学者为提高金刚石薄膜摩擦学性能而进行的探索研究及其...
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刊名： 真空发表期刊： 2009年3期页码:摘要： 采用射频磁控溅射的方法制备Zn掺杂TiO2薄膜,用XRD、SEM和UV-Vis分别表征TiO2薄膜的晶体结构、表面形貌及其紫外-可见光吸收谱.并用此材料制备Au/TiO2/An结构MSM光电...
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刊名： 真空发表期刊： 2009年3期页码:摘要： 使用直流磁控溅射装置,通过在溅射过程中加入不同的金属网格,300 ℃条件下在玻璃衬底上制备了不同晶粒尺寸的TiO2薄膜.利用X射线衍射谱(XRD)、场发射扫描电子显微镜(SEM)对薄膜的结构...
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刊名： 真空发表期刊： 2009年3期页码:摘要： 由于薄膜生长均匀、沉积速率和膜厚易控、可制备大面积薄膜等特点,电子束沉积技术在超导薄膜、多层巨磁阻薄膜、超晶格薄膜中得到了深入研究.电子束沉积技术的关键是其薄膜生长和控制系统.本文基于微型计...
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52. PEV压电晶体阀流量率标定试验刊名： 真空发表期刊： 2009年3期页码:摘要： 本文介绍了在核聚变装置中广泛应用的压电晶体阀的工作原理,并通过搭建试验平台模拟我国第一个全超导托卡马克核聚变装置EAST试验时的真空环境,来准确计算试验条件下的压电晶体阀的气体流量率,从而为...
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53. 导电薄膜电阻测量技术的可靠性研究刊名： 真空发表期刊： 2009年3期页码:摘要： 针对手提式薄膜方块电阻测试仪在使用中容易出现的问题,进行分析研究,提出了解决方案,并在实验中得到实现.研究的问题包括:电池供电的电压监测;探头完全与被测样品接触良好的检测;防止探针对被测样品...
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刊名： 真空发表期刊： 2009年3期页码:摘要： 本文介绍了低温扫描隧道显微镜(LT-STM)的结构特点,该设备由真空系统、低温系统、扫描和数据采集系统、电源控制系统、控制计算机等组成,该实验设备具有高性能、高精度的特点,对实验人员的实验技...
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刊名： 真空发表期刊： 2009年3期页码:摘要： 钨由于高熔点、低溅射率等优点而被广泛的认为是最有希望的核聚变装置面对等离子体材料.然而考虑到等离子体约束和边界气体再循环,钨涂层面对等离子体材料在真空中的出气性能的研究是十分重要的.研究结果...
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刊名： 真空发表期刊： 2009年3期页码:摘要： 卷绕式镀膜机传动系统有交流电机驱动方式和直流电机驱动方式两种,直流电动机由于转矩特性好、调速容易,在卷绕式镀膜机卷绕系统中应用广泛.在卷材张力值较小运行时,传动系统出现运行不稳定的现象.本文...
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57. 中性束系统大抽速低温泵的初步设计刊名： 真空发表期刊： 2009年3期页码:摘要： HL-2A装置即将开展改造和升级,升级后的HL-2M将在中后期开展近10 MW的中性束实验.随着中性束系统功率和脉冲宽度的增加,常规的真空抽气系统将不能满足要求,需要开展大抽速洁净真空获得技...
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58. 信息刊名： 真空发表期刊： 2009年3期页码:摘要：
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59. ESI离子阱质谱仪真空系统设计刊名： 真空发表期刊： 2009年3期页码:摘要： 自主研发质谱仪并能够将其产业化生产是一项十分有意义的工作.质谱仪的工作原理决定了其核心部件(质量分析器和检测器)需要在真空下工作,因此质谱仪的真空系统设计是质谱仪研发工作的基础.本文针对ES...
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刊名： 真空发表期刊： 2009年3期页码:摘要： 采用真空实型铸造工艺来制备陶瓷颗粒增强的钢基表面复合材料是一种制造选择性增强耐磨复合材料的先进工艺.本文研究了复合材料的制备过程,耐磨涂料配制及涂刷工艺和材料的浇注工艺,并在金相显微镜上对复...
真空基本信息
| 刊名 | 真空 | 主编 | 陆国柱 |
| 曾用名 | 真空技术报导 | ||
| 主办单位 | 中国机械工业集团公司沈阳真空技术研究所 | 主管单位 | 机械工业部期刊管理办公室 中国机械工业集团公司沈阳真空技术研究所 |
| 出版周期 | 双月刊 | 语种 |
chi
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| ISSN | 1002-0322 | CN | 21-1174/TB |
| 邮编 | 110042 | 电子邮箱 | zkzk@chinajournal.net.cn |
| 电话 | 024-24134406 | 网址 | www.vacjour.cm |
| 地址 | 辽宁省沈阳市万柳塘路2号 |
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