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真空
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本杂志是中国真空界主要杂志之一。自1994年真空杂志转换经营机制以来，由我国真空企业界实力雄厚的厂家与杂志社联办成立董事会，并由真空学术界著名学者组成编委会。社会效益与经济效益与日俱增，在国内真空界享有盛誉。自1989年公开发行以来，被美国、英国、德国、日本、意大利、韩国以及港澳地区越来越多的海外学者所关注。
主办单位：
中国机械工业集团公司沈阳真空技术研究所
期刊荣誉：
中国期刊网、光盘国家工程中心用刊
工程技术类核心期刊
ISSN：
1002-0322
CN：
21-1174/TB
出版周期：
双月刊
邮编：
110042
地址：
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刊名： 真空发表期刊： 2016年3期页码:摘要： 本文采用真空电弧镀技术(AIP)在DD9单晶高温合金基体上沉积60μm～80μm复合涂层(NiCoCrAlYHf+AlYSi),分析了复合涂层的组织及结构.对于沉积复合涂层的试样进行了115...
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2. 信息动态刊名： 真空发表期刊： 2016年3期页码:摘要：
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刊名： 真空发表期刊： 2016年3期页码:摘要： 通过线性微波化学气相沉积技术在P型单晶样品上制备了AlOx/SiNx双层薄膜,采用场发射电子扫描显微镜、光学椭圆偏振仪器、有效少子寿命测量仪对实验样品进行了表征和分析.结果表明,线性微波化学...
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刊名： 真空发表期刊： 2016年3期页码:摘要： N元素由于其核外电子结构和原子半径与O十分相近,被认为是最适合用来制备p型ZnO(p-ZnO)半导体材料的掺杂元素.有关N掺p-ZnO的研究已经进行了很长时间,并且获得了许多重要成果.然而,...
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刊名： 真空发表期刊： 2016年3期页码:摘要： 概述了Al2O3薄膜的组织结构和性能特性;系统叙述了Al2O3薄膜的多种制备方法,包括真空蒸发法、直流反应磁控溅射法、射频磁控溅射法、射频反应磁控溅射法、中频反应磁控溅射法、脉冲反应磁控溅射...
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刊名： 真空发表期刊： 2016年3期页码:摘要： 利用SEM/EDS(扫描电镜/电子能谱)、XPS(X射线光电子能谱)结合机械截面样品制备方法,对Al2O3陶瓷金属化后表面出现的“红点”进行研究.利用SEM对陶瓷“红点”区域的形貌进行分析,...
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刊名： 真空发表期刊： 2016年3期页码:摘要： 用水热法制备了ZrO2纳米粒子,结构通过XRD表征,利用GaIn上电极对旋涂于ITO基底上薄膜进行伏安特性测试.结果表明,ZrO2纳米粒子为微晶单斜相,随水热温度增加,结晶度增强.器件具有双...
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刊名： 真空发表期刊： 2016年3期页码:摘要： 利用FJL560CI2型磁控溅射仪,通过改变掺杂所用的铜丝长度而保持铝丝长度不变,制备了掺杂浓度和掺杂比例不同的Cu-Al共掺ZnO薄膜.通过X射线衍射图谱来分析薄膜样品的微观结构特征,采用...
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刊名： 真空发表期刊： 2016年3期页码:摘要： 采用化学气相沉积和电子束物理气相沉积工艺在镍基单晶高温合金基体上制备了(Ni,Pt)Al/YSZ(Yttira stabilized zirconia,YSZ)热障涂层(Thermal ba...
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10. 容积真空泵能效比的研究与测量刊名： 真空发表期刊： 2016年3期页码:摘要： 本文提出了真空泵的能效比概念,即消耗功率在泵运行过程中转换成的体积流率,但在实际上,一个给定泵在规定条件下工作,能效比取泵特定工况时的体积流率与消耗功率之比.这是一种有关泵节能效益的全新的概...
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11. 超大型试验舱舱门锁紧件优化设计刊名： 真空发表期刊： 2016年3期页码:摘要： 试验舱在航空、航天、材料等领域具有广泛的应用,由于试验舱设备较大,需要采用大型液压锁紧机构来开关舱门.本文根据理论计算和实际工况的需求,设计了舱门的液压锁紧机构,结合使用情况,校核了锁紧件的...
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刊名： 真空发表期刊： 2016年3期页码:摘要： 建立180L/s螺杆真空泵转子温度场有限元模型,得到其温度场和热形变分布情况,结合热形变结果推导出泵腔内各点冷配合间隙.利用分析结果对螺杆真空泵转子形状进行优化设计.分析结果显示:180L/...
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13. 连续式风洞真空系统设计刊名： 真空发表期刊： 2016年3期页码:摘要： 为使风洞的总压波动满足试验要求,设计了真空系统,该系统采用调压阀和真空泵变频调节方式.文中简要介绍了真空系统的组成及设计方案,详细阐述了真空系统设计,包括真空泵选型分析、总抽速计算和流导计算...
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刊名： 真空发表期刊： 2016年3期页码:摘要： 采用朗缪探针法对射频感应耦合等离子体进行了诊断分析,得到了圆柱形ICP放电装置的电子密度和电子温度.通过朗缪双探针研究了不同放电气压、不同射频功率、不同放电位置、不同气体组分对等离子体参数的...
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刊名： 真空发表期刊： 2016年3期页码:摘要： 用于产生等离子体的表面波激励功率会影响到等离子体天线的实际应用.针对这一问题,本文在搭建表面波等离子体天线实验系统的基础上,通过实验分别研究了表面波激励功率对等离子体天线噪声电平的影响以及激...
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刊名： 真空发表期刊： 2016年3期页码:摘要： 本文基于聚二甲基硅氧烷(PDMS)微结构图章的转印技术将紫外固化胶图形转移到PMMA基底上,形成紫外固化胶/PMMA双层胶结构,用等离子刻蚀(RIE)后,得到具有内切结构的光刻胶掩膜,镀金属...
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刊名： 真空发表期刊： 2016年3期页码:摘要： 本论文基于密度泛函理论的第一性原理,建立了合理的结构模型和计算参数.在相同的摩尔掺杂率下,从理论上计算并分析了锐钛矿相及金红石相TiO2:Nb的能带结构、态密度、介电常数、反射率和吸收强度....
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刊名： 真空发表期刊： 2016年3期页码:摘要： 本文对锌资源概况、制锌工业的现状与发展等方面进行了综述,对氧化锌真空碳热还原过程分别采用热力学、沸点、蒸气压计算进行分析.热力学计算结果显示,碳的热还原氧化锌反应的理论起始温度随着压强的减小...
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19. 第十九讲真空溅射镀膜刊名： 真空发表期刊： 2016年3期页码:摘要：
真空基本信息
| 刊名 | 真空 | 主编 | 陆国柱 |
| 曾用名 | 真空技术报导 | ||
| 主办单位 | 中国机械工业集团公司沈阳真空技术研究所 | 主管单位 | 机械工业部期刊管理办公室 中国机械工业集团公司沈阳真空技术研究所 |
| 出版周期 | 双月刊 | 语种 |
chi
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| ISSN | 1002-0322 | CN | 21-1174/TB |
| 邮编 | 110042 | 电子邮箱 | zkzk@chinajournal.net.cn |
| 电话 | 024-24134406 | 网址 | www.vacjour.cm |
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