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真空科学与技术学报期刊
出版文献量（篇）
4084
总下载数（次）
3
总被引数（次）
19905

真空科学与技术学报

Chinese Journal of Vacuum Science and Technology
曾用名： 真空科学与技术

CACSCDJSTCSTPCD

影响因子 0.3586
本刊是全国中文核心期刊，长期被EI、CA、SA等国际蓍名检索系统收录，已全文上网。本刊通过中国图书贸易总公司代理向国外发行。目前在美国、英国、德国、荷兰及我国的香港与台湾地区均有订阅，有一定的影响力。在国内各高等院校科学院所涉及到真空科学与技术论文都大多数向本刊投稿，已成为国内外关学者发表高水平科研成果的主要载体。
主办单位：
中国真空学会
ISSN：
1672-7126
CN：
11-5177/TB
出版周期：
月刊
邮编：
100022
地址：
北京市朝阳区建国路93号万达广场9号楼614室
出版文献量（篇）
4084
总下载数（次）
3
总被引数（次）
19905
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  • 1. 分布式电子回旋共振等离子体制备高质量二氧化硅薄膜
    作者： B.Agius D.Pribat F.Plais M.C.Hugon 江南
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 1998年3期
    页码:  161-169
    摘要： 介绍了一种采用DECR等离子体在低温下制备高质量SiO2薄膜的PECVD工艺.讨论了DECRPECVD工艺中气相O/Si原子比以及沉积速率对SiO2薄膜性能的影响.采用包括高能离子分析、椭偏...
  • 2. Ti-B超硬薄膜的合成及其显微结构和显微硬度的研究
    作者： 周平南 李莹 杨晓豫 蔡珣
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 1998年3期
    页码:  170-175
    摘要： 采用离子束增强沉积方法,在p型(100)单晶硅衬底上,通过不同能量的氙离子辅助轰击,以不同的沉积速率制备了Ti-B超硬薄膜.X射线衍射分析结果表明,Ti-B薄膜呈TiBx多晶结构,其晶化程度...
  • 3. HL-1M装置边缘扰动和流速的实验研究
    作者： 徐小桥 杨式坤 洪文玉 潘宇东 王恩耀 邓慧忱 陈燎原
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 1998年3期
    页码:  176-186
    摘要： 利用一组马赫探针研究HL-1M装置刮离层和边缘等离子体流在欧姆放电、壁硼化、偏压抽气孔栏、偏压电极、低混杂波电流驱动、电子回旋共振加热、弹丸注入、分子束注入、激光吹气和补充送气等情况下的平行...
  • 4. 高压纳秒放电脉冲参量的计算
    作者： 徐伟军 王桂芹 翁明
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 1998年3期
    页码:  187-191
    摘要： 根据等效放电回路、火花电阻公式以及巴邢定律,推导出了高压纳秒脉冲参量(脉冲幅值、半高宽)与储能电容、放电管管内气压以及管内电极间距之间关系的解析式.公式与实验能较好地吻合.
  • 5. 溅射与沉积过程的计算机模拟
    作者： A.Lunk G.Rohrbach 陈猛
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 1998年3期
    页码:  192-197
    摘要： 应用TRIM和TRIDYN程序模拟氮化硼材料的溅射率与Ar+入射角的关系,Ar+辅助沉积氮化硼薄膜与硅基片的界面结构,铜基片溅射率与入射能量的关系,以及Ar+以垂直于表面方向轰击非晶硅产生的...
  • 6. 新型氧敏CeO2-x薄膜的制备及结构研究
    作者： 刘振祥 杜新华 王燕斌 褚武扬 谢侃
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 1998年3期
    页码:  198-201
    摘要： 用射频磁控溅射法制备了CeO2-x高温氧敏薄膜.通过改变O2/Ar比,制备出不同组分和结构的CeO2-x薄膜.用Ce3d的XPS谱计算了Ce3+的浓度.XRD和AFM分析表明,薄膜经空气中高...
  • 7. 略论绝对真空计量标准
    作者： 孟扬 李旺奎
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 1998年3期
    页码:  202-205
    摘要： 仅就"绝对真空计量标准"略加评论,对真空计量标准的"绝对性"含义作一讨论.随着真空度的提高,真空度计量标准的绝对性越来越下降;相对真空度计量标准而言,气体微流量标准的绝对性还要更差些.
  • 8. 核聚变装置弹丸发射器的研究进展
    作者： 何雅玲 石玉美 陈钟颀
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 1998年3期
    页码:  206-215
    摘要： 利用弹丸发射器把冷冻的氘丸和氚丸发射入磁约束热核等离子体中是给聚变反应堆添加燃料的有效方法之一.从70年代后期起,许多国家开始研制弹丸发射器,我国核工业部西南物理研究院和中国科学院等离子体物...
  • 9. 杂质分布对多晶硅薄膜电性能的影响
    作者： 刘雅言 王岚
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 1998年3期
    页码:  216-219
    摘要： 报道了多晶硅薄膜的制备方法及光生载流子在多晶硅晶界区域的收集、复合情况,并采用剖面分析方法研究了杂质的分布对多晶硅薄膜太阳电池电性能的影响.
  • 10. Ag-MgF2金属陶瓷薄膜的制备及其微观结构研究
    作者： 孙兆奇 孙大明 徐志元 李爱侠
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 1998年3期
    页码:  220-223
    摘要： 用真空双蒸发源交替蒸发法和单蒸发源混合瞬时蒸发法制备了Ag-MgF2金属陶瓷薄膜.透射电镜、电子衍射、X射线衍射以及X射线光电子能谱分析结果表明,薄膜由晶态超微粒Ag镶嵌于主要为非晶态的Mg...
  • 11. 离子束溅射作用下聚四氟乙烯薄膜的制备方法
    作者： 何建立 李恒德 李文治 王立铎 王英华 贺小明
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 1998年3期
    页码:  224-226
    摘要： 在多功能离子束辅助沉积装置上采用交替溅射和冷却聚四氟乙烯靶材的方法制备了薄膜.由XPS的结果可知,所得薄膜主要由CF2结构组成;FT-IR的结果表明,所得薄膜由C-F的最强吸收峰和聚四氟乙烯...
  • 12. 超导扭摆磁铁光束线前端真空系统
    作者： 吴冠原 徐朝银 李浩林 赵伟昌 赵殿明 赵飞云
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 1998年3期
    页码:  227-231
    摘要： 6T单周期超导扭摆磁铁是合肥同步辐射光源的一个插入件,用于将可用光范围扩展到X射线波段.由该磁铁引出的光束线的前端已调试完毕,其中静态真空达2.46×10-8Pa.主要介绍了该前端超高真空系...
  • 13. 原位电阻法监测无限层薄膜沉积和热处理过程
    作者： 丁凤莲 孙云峰 孙寅官 孙平 牛家胜
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 1998年3期
    页码:  232-235
    摘要： 用原位电阻法监测了无限层薄膜(Sr0.7Ca0.3)0.9K0.1CuO2沉积时电阻随时间(即膜厚)的变化过程,以及薄膜热处理过程中电阻随温度的变化过程.通过监测了解到氧含量在无限层薄膜中起...
  • 14. 银钠米晶微结构的尺寸效应
    作者： 叶锡生 张立德 彭子飞 沙健 焦正宽
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 1998年3期
    页码:  236-238
    摘要： 对银纳米晶的系列样品进行了XRD微结构实验研究和计算.结合所得到的晶粒度和微结构参数发现纳米银晶粒组元中存在着晶格畸变;随着晶粒尺寸的变化,银钠米晶的微结构呈现出明显的变化,其晶格畸变与晶粒...

真空科学与技术学报基本信息

刊名 真空科学与技术学报 主编 吴锦雷
曾用名 真空科学与技术
主办单位 中国真空学会  主管单位 中国科学技术协会
出版周期 月刊 语种
chi
ISSN 1672-7126 CN 11-5177/TB
邮编 100022 电子邮箱 vst@chinesevacuum.com
电话 010-58206280 网址
地址 北京市朝阳区建国路93号万达广场9号楼614室

真空科学与技术学报统计分析

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