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真空科学与技术学报2003年出版文献
出版文献量（篇）
4084
总下载数（次）
3
总被引数（次）
19905
真空科学与技术学报
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本刊是全国中文核心期刊，长期被EI、CA、SA等国际蓍名检索系统收录，已全文上网。本刊通过中国图书贸易总公司代理向国外发行。目前在美国、英国、德国、荷兰及我国的香港与台湾地区均有订阅，有一定的影响力。在国内各高等院校科学院所涉及到真空科学与技术论文都大多数向本刊投稿，已成为国内外关学者发表高水平科研成果的主要载体。
主办单位：
中国真空学会
ISSN：
1672-7126
CN：
11-5177/TB
出版周期：
月刊
邮编：
100022
地址：
出版文献量（篇）
4084
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3
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19905
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刊名： 真空科学与技术学报发表期刊： 2003年4期页码:摘要： 在磁控溅射系统阴极靶施加同轴可调约束磁场显著改善了系统放电特性.研究了在Ar气放电系统伏安特性随不同的气压、溅射电压变化规律.采用同轴平面探针诊断距阴极60 mm、110 mm和230 mm...
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62. 三代微光管均匀性测试与分析刊名： 真空科学与技术学报发表期刊： 2003年4期页码:摘要： 利用自行研制的"光电阴极多信息量测试系统"首次对国产三代微光管中的GaAs光电阴极的均匀性进行了光谱响应测试,结果表明该国产三代微光管存在明显的非均匀性.利用曲线拟合方法估算了GaAs光电阴...
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刊名： 真空科学与技术学报发表期刊： 2003年4期页码:摘要： 利用锐钛矿晶型的纳米TiO2胶体溶液,将硅胶作为粘结剂按不同配比加入TiO2胶体,用提拉法在陶瓷表面形成均匀薄膜并在高温下烘烤成膜.研究TiO2和硅胶在不同比例情况下的薄膜特性,讨论了退火温...
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刊名： 真空科学与技术学报发表期刊： 2003年4期页码:摘要： 钛酸锶钡(BST)薄膜是一种重要的铁电薄膜,应用广泛,是高新技术研究的前沿和热点之一.简要介绍了BST薄膜的制备方法和应用,对此薄膜的基片、电极、晶界、界面、热处理、膜厚及组成、结构、性能等...
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刊名： 真空科学与技术学报发表期刊： 2003年4期页码:摘要： 本文系统地讨论了化学气相催化法制备碳纳米管的工艺过程.讨论了化学气相催化法原位制备碳纳米管器件的技术,即先制备电极和催化剂结构,然后在电极上原位生长碳纳米管.与目前通常采用的先制备碳纳米管,...
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刊名： 真空科学与技术学报发表期刊： 2003年4期页码:摘要： 用扫描电镜、双光束紫外-可见分光光度计和椭偏仪研究了在氮气(N2)氛下制备的C60薄膜的表面形貌及光吸收特性.研究发现,薄膜表面粒子粒径随气压的增大而增大,表面结晶现象也随气压增大而明显;与...
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刊名： 真空科学与技术学报发表期刊： 2003年4期页码:摘要： 用真空蒸发制备了酞菁氧钒(VOPc)薄膜,并在磁场中进行了热处理.用X光电子能谱、X射线衍射、紫外-可见吸收光谱、原子力显微镜等手段对制备的薄膜进行了表征.结果表明沉积的酞菁氧钒薄膜为α-型...
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刊名： 真空科学与技术学报发表期刊： 2003年4期页码:摘要： 角膜的真空冷冻干燥是离体生物组织的冻干,目的是便于贮藏,以备后用.冻干角膜的复水是决定角膜活性的关键环节.本文以冻干的兔角膜为实验材料,对其复水进行研究,找到了合适的复水工艺.对按该工艺复水...
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刊名： 真空科学与技术学报发表期刊： 2003年4期页码:摘要： 荫罩的热变形使电子束产生着屏偏移,进而导致了色纯变坏.本文采用大型软件ANSYS对15英寸荫罩进行了热变形的有限元仿真,从而得到了电子束的着屏偏移.建立了包括阴极射线管(CRT)里所有部件的...
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刊名： 真空科学与技术学报发表期刊： 2003年4期页码:摘要： 对真空蒸镀钝化太安(PETN)炸药薄膜进行了研究.分析了真空度、蒸镀温度、蒸发速率、基片表面状态等因素对形成薄膜的影响.得出了适宜蒸镀的真空条件、最佳蒸镀温度和蒸发速率;提出了增加薄膜和基片...
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刊名： 真空科学与技术学报发表期刊： 2003年4期页码:摘要： 在真空技术应用中,高精度气体微流量计用于连续膨胀法校准系统压力的产生、漏孔漏率的测量以及真空泵抽速的测定.PTB先后研制了三代气体微流量计,第一代为手动型,第二代为半自动型,第三代为全自动型...
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刊名： 真空科学与技术学报发表期刊： 2003年4期页码:摘要： 利用多功能等离子体浸没离子注入设备,采用等离子体浸没离子注入和沉积技术在Ti合金表面制备具有优异力学性能的TiN薄膜.研究了真空室中氮气存在状态及氮气压力对薄膜性能的影响:当氮以中性气体存在...
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73. 射频激励铜离子激光器的功率消耗刊名： 真空科学与技术学报发表期刊： 2003年5期页码:摘要： 通过对射频激励激光器放电电压、电流以及相位的精确测量,基于射频放电等离子体等效电路,得出等离子体总电阻(包括等离子体总电阻和鞘层电阻分量),经非线性最小平方拟合分别得到等离子体电阻和鞘层电阻...
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74. 液氮制冷低气压试验箱的仿真设计刊名： 真空科学与技术学报发表期刊： 2003年5期页码:摘要： 在采用液氮制冷的低气压试验箱的设计中,用常规工程设计方法计算的降温过程冷负荷过大,从而导致真空系统设计容量过大.本文采用分布参数模型对试验箱低气压条件下降温过程的冷负荷进行了精确仿真模拟,以...
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刊名： 真空科学与技术学报发表期刊： 2003年5期页码:摘要： 用X射线光电子能谱(XPS)研究了GaAs(100)面基片的化学清洗、热净化、(Cs,O)激活后加热的处理效果.GaAs的氧化过程是:首先,As氧化为低价态,然后Ga被氧化,再就是As氧化为...
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76. PAR薄膜阻抗转变规律的研究刊名： 真空科学与技术学报发表期刊： 2003年5期页码:摘要： 采用真空蒸发的方法制备了PAR薄膜,研究了不同外电路参数下薄膜的电双稳特性.发现薄膜在从高阻向低阻转变时会经历一个短暂的具有非线性阻抗的中间态,并且在整个转变过程中存在一种能量效应,即当外加...
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刊名： 真空科学与技术学报发表期刊： 2003年5期页码:摘要： 用快速热水解的方法，制备直径小于10 nm的单分散Fe(OH)3胶体粒子。X射线衍射(XRD)和透射电镜(TEM)衍射分析表明：Fe(OH)3胶体粒子脱水后转变为Fe2O3纳米粒子。用离心分...
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刊名： 真空科学与技术学报发表期刊： 2003年5期页码:摘要： 本文用Maxwell-Garnett 有效介质理论计算了不同体积成分比的Ag-MgF2复合纳米金属陶瓷薄膜在250 nm～830 nm波段的光学常数,考虑了由于金属颗粒尺寸对其内部传导电子平...
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79. 多壁碳纳米管气敏性质的研究刊名： 真空科学与技术学报发表期刊： 2003年5期页码:摘要： 本文对多壁碳纳米管薄膜在外界中的气敏性质进行了研究.实验结果表明,空气中,多壁碳纳米管薄膜对水分子的吸收是最主要的作用,并讨论了其气敏性质与薄膜比表面积及化学修饰之间的关系.
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刊名： 真空科学与技术学报发表期刊： 2003年5期页码:摘要： 电子诱导脱附是近年来在真空科学与表面科学领域内的热门研究课题.它不仅作为研究和探讨原子激发过程以及电子能量传输机制的有效手段,而且已经逐渐成为获取表面和界面结构、状态等信息的有效方法."信号...
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刊名： 真空科学与技术学报发表期刊： 2003年5期页码:摘要： 电子诱导脱附是近年来在真空科学与表面科学领域内的热门研究课题.电子诱导脱附不仅作为研究和探讨原子激发过程以及电子能量传输机制的有效手段,而且已经逐渐成为获取表面和界面结构、状态等信息的有效方...
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82. 温度传感功能薄膜技术刊名： 真空科学与技术学报发表期刊： 2003年5期页码:摘要： 随着科学技术的不断进步,人们对温度信息获取的手段提出了新的要求,对温度传感器超小型化的要求越来越迫切,薄膜传感器的出现满足这一要求.薄膜温度传感器由于其优异的性能,在工业生产中越来越得到广泛...
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83. 化学气相沉积铜薄膜研究进展刊名： 真空科学与技术学报发表期刊： 2003年5期页码:摘要： 本文综术了集成电路工艺的Cu布线中Cu薄膜化学气相沉积(CVD)的研究背景,详细介绍了CVD生长Cu金属薄膜的国内外研究进展及CVD对前趋物的要求,并对前趋物的一些物理、化学性质进行了总结,...
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刊名： 真空科学与技术学报发表期刊： 2003年5期页码:摘要： 用直流溅射方法制备氮化锆薄膜,其晶体结构,氮原子组分以及电阻率都与溅射气氛中氮气分量有直接关系.用X射线衍射分析薄膜结构,随氮气分量由5%至30%增加,玻璃衬底上的氮化锆薄膜首先呈(111)...
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刊名： 真空科学与技术学报发表期刊： 2003年5期页码:摘要： 利用俄歇电子能谱(AES)和X射线衍射(XRD)分析了室温条件下离子束外延生长Ga、Mn、As样品,在不同的温度条件下进行退火后组分和元素分布的变化.结果表明退火有助于样品内部元素的均匀分布...
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刊名： 真空科学与技术学报发表期刊： 2003年5期页码:摘要： 用电子束蒸镀方法在(100)单晶Si衬底上,生长Zn0.85Co0.15O薄膜,并研究了衬底温度对薄膜质量的影响,结果表明当衬底温度为400 ℃时,外延膜取向性最好,且其(002)衍射峰半高...
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刊名： 真空科学与技术学报发表期刊： 2003年5期页码:摘要： 研究采用有机衬底掩膜技术和冷基底直流溅射在多孔微通道板输入面制备非晶态Al2O3电子透射膜的可行性,讨论在微通道板输入面形成连续电子透射膜与气体辉光放电的关系,测量带膜微通道板的电特性.结果...
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刊名： 真空科学与技术学报发表期刊： 2003年5期页码:摘要： 利用静电贴膜技术在MCP输入面制备了4 nm厚Al2O3非晶态电子透射膜,此工艺不造成MCP通道壁内表面碳污染.探讨了贴膜与气体辉光放电的关系,测量了MCP电子透射膜的电子透过特性和离子阻挡...
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刊名： 真空科学与技术学报发表期刊： 2003年5期页码:摘要： 针对全息离子束刻蚀衍射光栅制作中,光刻胶光栅浮雕图形的制作是至关重要和困难的,引入O2反应离子刻蚀对光刻胶光栅进行灰化处理,给出光刻胶灰化技术在全息离子束刻蚀衍射光栅制作闪耀光栅、浅槽矩形位...
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90. 新型钡钨阴极的发射性能研究刊名： 真空科学与技术学报发表期刊： 2003年5期页码:摘要： 本文研究了新型钡钨阴极发射性能,并且分别用扫描电子显微镜(SEM)和工业CT微焦点系统来分析所研制的新型钡钨阴极的表面形貌和内部微细结构.该阴极不仅简化了传统浸渍钡钨阴极生产工艺,而且发射性...
真空科学与技术学报基本信息
| 刊名 | 真空科学与技术学报 | 主编 | 吴锦雷 |
| 曾用名 | 真空科学与技术 | ||
| 主办单位 | 中国真空学会 | 主管单位 | 中国科学技术协会 |
| 出版周期 | 月刊 | 语种 |
chi
|
| ISSN | 1672-7126 | CN | 11-5177/TB |
| 邮编 | 100022 | 电子邮箱 | vst@chinesevacuum.com |
| 电话 | 010-58206280 | 网址 | |
| 地址 | 北京市朝阳区建国路93号万达广场9号楼614室 |
真空科学与技术学报评价信息
该刊被以下数据库收录
| 1. | 化学文摘(美) |
| 2. | 中国科学引文数据库 |
| 3. | 日本科学技术振兴机构数据库(日) |
| 4. | 中国科技论文统计与引文分析数据库 |
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