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真空科学与技术学报期刊
出版文献量（篇）
4084
总下载数（次）
3
总被引数（次）
19905

真空科学与技术学报

Chinese Journal of Vacuum Science and Technology
曾用名： 真空科学与技术

CACSCDJSTCSTPCD

影响因子 0.3586
本刊是全国中文核心期刊，长期被EI、CA、SA等国际蓍名检索系统收录，已全文上网。本刊通过中国图书贸易总公司代理向国外发行。目前在美国、英国、德国、荷兰及我国的香港与台湾地区均有订阅，有一定的影响力。在国内各高等院校科学院所涉及到真空科学与技术论文都大多数向本刊投稿，已成为国内外关学者发表高水平科研成果的主要载体。
主办单位：
中国真空学会
ISSN：
1672-7126
CN：
11-5177/TB
出版周期：
月刊
邮编：
100022
地址：
北京市朝阳区建国路93号万达广场9号楼614室
出版文献量（篇）
4084
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3
总被引数（次）
19905
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  • 1. 热丝法沉积金刚石膜工艺参数优的微观机理与预测
    作者： 候峰 徐宏 戚学贵 王学生 谭晓勇 陈则韶
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2005年3期
    页码:  159-163
    摘要： 弄清化学气相沉积金刚石膜的机理对优化工艺参数具有指导意义.在前期工作中,作者辨析了氢原子、甲基和乙炔在金刚石膜沉积中的作用.本文建立了两个微观指标,即甲基浓度和氢原子与乙炔浓度的比值,分别对...
  • 2. SiO2/Si衬底制备ZnO薄膜及表征
    作者： 叶志镇 张银珠 张阳 徐伟中 曹亮亮 朱丽萍 赵炳辉
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2005年3期
    页码:  164-167
    摘要： 本文报道了利用脉冲激光沉积技术在热氧化p型硅衬底上生长ZnO外延薄膜.引入高阻非晶SiO2缓冲层,有效地降低了检测过程中单晶衬底对ZnO薄膜的电学性能影响.利用XRD,SEM,Hall和PL...
  • 3. 基于小波神经网络预测单个碳纳米管的场增强因子和开启电压
    作者： 保文星 崔万照 朱长纯
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2005年3期
    页码:  168-171,188
    摘要： 针对单个碳纳米管的场发射特性参数与几何结构之间的复杂非线性关系,构造了一种多输入多输出的小波神经网络结构来预测单个碳纳米管的场发射增强因子和开启电压,并采用BP算法和自适应的学习速率加快网络...
  • 4. 大面积应用的RF-PECVD技术研究
    作者： Y.Yin 杭凌侠
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2005年3期
    页码:  172-176,180
    摘要： 本文探讨采用小电极与大面积基片相对移动的方法来制造大面积薄膜的可行性,提出了采用小电极等离子体源在大面积基片上移动工作的新方法,可用于沉积(或刻蚀)均匀大面积薄膜或根据需求设计的大面积上非均...
  • 5. 三种铁电阴极材料电子发射性能试验研究
    作者： 张树人 蔡雪梅 郭曙光 陈忠道
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2005年3期
    页码:  177-180
    摘要： 本文采用锆钛酸铅、钛酸铋钠和钛酸钡三种不同铁电阴极材料,进行了电子发射试验,测定了电子发射电流密度,并对其在电子发射试验时的波形进行了分析讨论.结果认为:锆钛酸铅材料的电子发射电流密度略优于...
  • 6. 纳米级FePt/Fe多层膜中微结构的优化与耦合效应
    作者： 展晓元 张大勇 张跃 纪箴 顾有松
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2005年3期
    页码:  181-184,188
    摘要： 本文用磁控溅射法制备了一系列不同厚度Fe层的FePt/Fe多层膜,经过热处理后成功地制备出具有fct结构的FePt有序相和exchange-spring型永磁体.研究了不同热处理条件下多种膜...
  • 7. 单根Ag(TCNQ)微/纳米结构的光致变色特性研究
    作者： 叶春暖 孙大林 徐华华 方方 曹冠英 莫晓亮 邢晓艳 陈国荣
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2005年3期
    页码:  185-188
    摘要： 利用溶液化学反应法制备了准一维微/纳米结构的金属有机配合物Ag(TCNQ);X射线衍射(XRD)表明所制备的Ag(TCNQ)为晶态结构;扫描电子显微镜(SEM)的观察表明Ag(TCNQ)为准...
  • 8. STM"接触"式测量中的整流效应
    作者： 严学俭 华中一 张莉 曾志刚 李旭 沈淼 邱伟民
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2005年3期
    页码:  189-191,199
    摘要： 在利用扫描隧道显微镜(STM)对Ag-TCNQ薄膜进行"接触"式的I-V特性测量中,发现由于接触势垒引起的整流效应.这为有机分子在电子学的应用方面,提供一种新的思路,从而设计新的有机电子器件...
  • 9. PECVD法制备a-Si1-xCx:H薄膜的结构及光学性能研究
    作者： 张翼英 杜丕一 汪建勋 翁文剑 韩高荣
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2005年3期
    页码:  192-195,203
    摘要： a-Si1-xCx:H的禁带宽度能随着薄膜中碳和氢的含量的变化而发生改变.深入了解薄膜中的键合情况及其对薄膜光学带隙的影响尤为重要.本文采用PECVD法,以硅烷(SiH4)和甲烷(CH4)为...
  • 10. 激光分子束外延BaTiO3/SrTiO3超晶格的晶格应变研究
    作者： 姜斌 张鹰 李燕 李言荣 蒋书文
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2005年3期
    页码:  196-199
    摘要： 采用脉冲激光分子束外延(PLMBE)方法,通过优化的工艺参数,在SrTiO3(100)单晶基片上外延结构为(8/8)的BaTiO3/SrTiO3超晶格薄膜.综合利用反射式高能电子衍射系统(R...
  • 11. 用DBD-PECVD方法合成碳纳米管
    作者： 冯克成 李社强 李飞 江南 石晓光
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2005年3期
    页码:  200-203
    摘要： 在大气压、较低温度下合成碳纳米管(CNTs),对于大规模的工业生产具有重要的意义.本文介绍了一种介质阻挡放电等离子体增强化学气相沉积(DBD-PECVD)的方法,并利用该方法制备碳纳米管.实...
  • 12. 溅射沉积技术的发展及其现状
    作者： 冷永祥 刘艳文 徐禄祥 杨文茂 黄楠
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2005年3期
    页码:  204-210
    摘要： 论述了溅射沉积薄膜技术的发展历程及其目前的研究应用状况.二极溅射应用于薄膜制备,揭开了溅射沉积技术的序幕,磁控溅射促使溅射沉积技术进入实质的工业化应用,并通过控制磁控靶磁场的分布方式和增加磁...
  • 13. 脉冲激光沉积法在Si(111)衬底上生长高c轴取向LiNbO3薄膜
    作者： 叶志镇 曹亮亮 王新昌 赵炳辉
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2005年3期
    页码:  211-213,221
    摘要： 在氧压20Pa,衬底温度600℃,靶材与衬底距离4cm的最优化条件下,利用脉冲激光沉积(PLD)技术首次在无诱导电压和任何缓冲层的情况下,在单晶Si(111)衬底上生长具有优良结晶品质和高c...
  • 14. 一种硅芯片/玻璃环静电键合的简易装置
    作者： 丁建宁 杨平 王文襄 王权
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2005年3期
    页码:  214-216,221
    摘要： 随着微机电系统(MEMS)技术的发展,促进了半导体硅压阻式压力传感器低成本和集成化,使其得到了广泛应用;在压阻式压力传感器无应力封装工艺中,硅芯片/PYREX7740玻璃环静电键合起着重要的...
  • 15. 恒压式气体微流量计的性能测试
    作者： 冯焱 张涤新 成永军 李得天 赵定众
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2005年3期
    页码:  217-221
    摘要： 介绍了恒压式气体微流量计的组成及性能实验.实验结果表明,气体流量的测量范围为(2.96×10-9～4.76×10-4)Pa·m3/s,不确定度小于4%.标准漏孔的校准结果与德国PTB校准结果...
  • 16. 功率密度对中频磁控溅射制备的氧化锌镓薄膜性能的影响
    作者： 庄大明 张弓 查杉 赵方红
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2005年3期
    页码:  222-224,237
    摘要： 利用中频磁控溅射方法,溅射Ga2O3含量为6.7wt%的氧化锌镓陶瓷靶材,在低温下(约40℃)制备了ZGO薄膜.考察了溅射功率密度对ZGO薄膜的晶体结构、电学和光学性能的影响.结果表明:溅射...
  • 17. 环境敏感水凝胶的环境扫描电镜观察
    作者： 何江川 吉元 张虹 张隐奇 权雪玲 林强
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2005年3期
    页码:  225-228,232
    摘要： 采用环境扫描电镜(ESEM),观察环境敏感水凝胶在自然状态下微观结构.对环境参数进行了优化,观察到温敏水凝胶的真实形貌和多孔结构.改变ESEM成像条件组合包括压力、温度和相对湿度等环境条件,...
  • 18. 化学气相沉积制备钼钨合金
    作者： 周美玲 毕安园 王从曾 马捷
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2005年3期
    页码:  229-232
    摘要： 以MoF6、WF6以及H2为原料,用化学气相共沉积的方法,成功地在铜基片表面沉积出钼钨合金.实验分析表明:沉积层结构为单相均匀固溶体.在钼含量高时沉积层显微组织呈细晶层状结构,在钼含量较低时...
  • 19. 磁控双靶反应共溅射(Ti,Al)N薄膜的研究
    作者： 杨会生 熊小涛 王燕斌 闫梁臣 高克玮
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2005年3期
    页码:  233-237
    摘要： 采用磁控双靶反应共溅射技术制备出了(Ti0.5Al0.5)N耐磨硬质薄膜,其显微硬度高于35GPa,摩擦系数小于0.18.实验结果表明当N2流量较低时,(Ti,Al)N薄膜结构和性能随N2流...
  • 20. 两种磁性液体密封结构耐压能力的比较
    作者： 何新智 兰惠清 李德才 许海平
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2005年3期
    页码:  238-240
    摘要： 本文从实验和数值分析两个方面比较了对称型和非对称型两种磁性液体旋转密封结构的耐压能力大小.分析了导致这种结果的原因,指出非对称结构是更为有效的一种密封结构.

真空科学与技术学报基本信息

刊名 真空科学与技术学报 主编 吴锦雷
曾用名 真空科学与技术
主办单位 中国真空学会  主管单位 中国科学技术协会
出版周期 月刊 语种
chi
ISSN 1672-7126 CN 11-5177/TB
邮编 100022 电子邮箱 vst@chinesevacuum.com
电话 010-58206280 网址
地址 北京市朝阳区建国路93号万达广场9号楼614室

真空科学与技术学报统计分析

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