热丝法沉积金刚石膜工艺参数优的微观机理与预测

• 作者: 候峰 徐宏 戚学贵 王学生 谭晓勇 陈则韶
• 来源期刊: 真空科学与技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: 金刚石膜 热丝化学气相沉积 参数优化 相图
• 年，卷（期）: 2005,（3）
• 所属期刊栏目: 学术论文
• 页码范围: 159-163
• 页数: 5页
• 分类号: O484|TQ163
• 字数: 4161字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1672-7126.2005.03.001

摘要

弄清化学气相沉积金刚石膜的机理对优化工艺参数具有指导意义.在前期工作中,作者辨析了氢原子、甲基和乙炔在金刚石膜沉积中的作用.本文建立了两个微观指标,即甲基浓度和氢原子与乙炔浓度的比值,分别对应生长金刚石和刻蚀非金刚石碳.通过对C-H和C-H-O反应气氛的模拟,讨论了这两个指标与灯丝温度、气源组成和气压的关系,并构建了含氧气氛生长金刚石的C-H-O三元相图.对热丝法沉积金刚石膜的工艺参数的优化选择进行了机理分析与预测,为工业化生产金刚石膜提供了参考.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	徐宏	华东理工大学机械工程学院化机所	141	881	15.0	21.0
2	王学生	华东理工大学机械工程学院化机所	82	288	8.0	14.0
3	戚学贵	华东理工大学机械工程学院化机所	19	99	6.0	9.0
5	陈则韶	中国科学技术大学工程科学学院	108	1106	18.0	26.0
8	谭晓勇	华东理工大学机械工程学院化机所	7	34	4.0	5.0
9	候峰	华东理工大学机械工程学院化机所	1	1	1.0	1.0