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19905

真空科学与技术学报

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Chinese Journal of Vacuum Science and Technology

曾用名：真空科学与技术

CA CSCD JST CSTPCD

影响因子 0.3586

本刊是全国中文核心期刊，长期被EI、CA、SA等国际蓍名检索系统收录，已全文上网。本刊通过中国图书贸易总公司代理向国外发行。目前在美国、英国、德国、荷兰及我国的香港与台湾地区均有订阅，有一定的影响力。在国内各高等院校科学院所涉及到真空科学与技术论文都大多数向本刊投稿，已成为国内外关学者发表高水平科研成果的主要载体。

主办单位：

中国真空学会

ISSN：

1672-7126

CN：

11-5177/TB

出版周期：

月刊

邮编：

100022

地址：

北京市朝阳区建国路93号万达广场9号楼614室

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年度刊次

1. 微波管环境下场发射阵列阴极的工作稳定性研究

作者：冯进军

刊名：真空科学与技术学报

发表期刊： 2005年z1期

页码: 16-19

摘要：场致发射阵列阴极在微波管中的应用无疑是微波真空电子器件的一场革命,但经过多年的研究和发展目前仍没有解决微波管环境下阵列阴极的工作稳定性和寿命问题.虽然国外也有一些利用这种冷阴极的行波管和预群...
2. 常压化学气相沉积法在玻璃上制备TiSi2薄膜的研究

作者：杜丕一杜军汪建勋翁文剑韩高荣

刊名：真空科学与技术学报

发表期刊： 2005年z1期

页码: 68-71

摘要：高导电性TiSi2薄膜对低频电磁波有高反射率.在玻璃基片上成功制备TiSi2薄膜有望开发形成一种新型低辐射镀膜玻璃.本文结合工业在线和大面积生产的特点,以常压化学气相沉积法研究了TiSi2在...
3. 碳纳米管与聚苯胺混合物的场发射

作者：于利刚张耿民柴扬

刊名：真空科学与技术学报

发表期刊： 2005年z1期

页码: 76-79,89

摘要：本文研究碳纳米管和聚苯胺混合物的场发射.用N-甲基吡咯烷酮溶解的聚苯胺和单壁碳纳米管混合溶液滴在硅片上,在垂直于样品平面的稳恒静电场的作用下,制成了不连续的薄膜.薄膜由尺寸在(2～5)μm的...
4. CVD法和丝印法制作的碳纳米管场致发射冷阴极的研究

作者：娄朝刚张晓兵朱春晖穆辉雷威

刊名：真空科学与技术学报

发表期刊： 2005年z1期

页码: 83-85

摘要：本文研究了丝网印刷法和CVD生长法制备的碳纳米管冷阴极的场致发射性能.结果表明,在没有模板的情况下,通过CVD生长的碳纳米管的直径与催化剂颗粒的直径有关,随催化剂颗粒的直径变化而变化,生长方...
5. 氦质谱检漏仪背压检漏标准剖析及非标漏率计算程序

作者：薛大同

刊名：真空科学与技术学报

发表期刊： 2005年z1期

页码: 20-26

摘要：本文叙述了对密封器件进行氦质谱检漏仪背压检漏的步骤.在此基础上,从真空技术的基本原理出发,分析给出了测量漏率R与等效标准漏率L的关系式,指出无法得到L的解析表达式以及为避免由R求L时出现双值...
6. 薄膜材料的微波复介电常数测量

作者：王德苗董树荣金浩

刊名：真空科学与技术学报

发表期刊： 2005年z1期

页码: 27-31

摘要：为了精确测量厚度在以1 μm以下薄膜材料的微波复介电常数,提出一种基于金属谐振腔微扰理论的测量方法和装置,对该方法进行了理论分析和实验验证,实验样品采用0.81μm厚度的MC-91(BaO-...
7. AlCl3+NH3反应体系起始反应的量子化学计算

作者：刘珍朱武王君陈明陈长琦

刊名：真空科学与技术学报

发表期刊： 2005年z1期

页码: 9-11,31

摘要：利用AlCl3+NH3反应体系制备氮化铝材料时,体系的初始反应可以按照三种不同路径进行.本文利用密度泛函理论的B3LYP方法,采用6-311++G基组对起始基元反应的反应物及产物进行几何构型...
8. 感应耦合等离子体的功率耦合效率的理论分析与计算

作者：宁兆元狄小莲辛煜

刊名：真空科学与技术学报

发表期刊： 2005年z1期

页码: 93-96

摘要：基于变压器模型,本文对感应耦合等离子体中线圈产生的空间电场分布、等离子体电阻、电感及功率耦合效率等进行了数值计算.在计算过程中,考虑了低气压等离子体无碰撞随机加热机制的作用.结果表明,同心线...
9. SiNx薄膜的制备、结构及其光学性能表征

作者：宁兆元施毅濮林辛煜郑有炓鲁涛黄壮雄

刊名：真空科学与技术学报

发表期刊： 2005年z1期

页码: 36-38,42

摘要：本文使用电子回旋共振等离子体化学气相沉积方法制备了非化学计量比的SiNx薄膜,使用红外光谱、拉曼光谱和紫外可见光谱等对SiNx薄膜的结构和光学性质进行了研究.结果表明,SiNx薄膜中随着Si...
10. Fe3+离子敏感Ge-Sb-Se-Fe(Ni)系薄膜的掺杂行为研究

作者：张海芳杜丕一翁文剑韩高荣

刊名：真空科学与技术学报

发表期刊： 2005年z1期

页码: 61-63

摘要：本文用电子束蒸发方法制备了掺Fe、Ni的Ge-Sb-Se-Fe(Ni)薄膜.Hall效应测得薄膜均为p型半导体.对薄膜的研究表明Ge-Sb-Se中不同过渡金属元素掺杂因失电子能力差异而形成了...
11. 驱动电压对新型荫罩式PDP单元放电特性影响的研究

作者：尹涵春屠彦张健赵卫华

刊名：真空科学与技术学报

发表期刊： 2005年z1期

页码: 105-108

摘要：改变荫罩式等离子显示板(SM-PDP)的驱动电压波形,会使PDP在放电过程中的空间电场发生变化,从而使放电过程、放电特性发生变化.根据PDP放电特点,选择一个合适的驱动波形,可以提高PDP显...
12. DMCPS电子回旋共振等离子体沉积的SiCOH低介电常数薄膜结构及物性研究

作者：俞笑竹叶超宁兆元王婷婷

刊名：真空科学与技术学报

发表期刊： 2005年z1期

页码: 97-100

摘要：本文采用电子回旋共振(ECR)等离子体技术和十甲基环五硅氧烷(DMCPS)源开展了SiCOH薄膜的研究工作,获得了介电常数为2.88的SiCOH低介电常数薄膜.薄膜经400℃热处理后,膜厚减...
13. 碳纳米管场致发射显示(CNT-FED)的新型灰度等级调制方式

作者：宗耿张宇宁张晓兵李晨金笑丛雷威马晓燕

刊名：真空科学与技术学报

发表期刊： 2005年z1期

页码: 32-35

摘要：碳纳米管在显示领域的一个比较重要的应用就是作为场发射显示器件的发射体.和其他平板显示器件一样,矩阵寻址方式也通常被用作为CNT-FED的驱动方式.本文主要探讨平板显示中的几种常见的灰度等级实...
14. RH-KTB大型真空冶金系统智能故障诊断

作者：巴德纯王庆王晓冬

刊名：真空科学与技术学报

发表期刊： 2005年z1期

页码: 12-15,26

摘要：研究RH-KTB系统的故障种类及特点,进行故障树分析,找出故障间的关系并建立了原始样本采集系统.利用决策树理论对炉外精练大型真空冶金系统的约简集进行快速学习和分类.最后,提出一种基于粗糙集-...
15. 用于微测辐射热计的氧化钒薄膜制备

作者：何秀丽李建平王利霞高晓光

刊名：真空科学与技术学报

发表期刊： 2005年z1期

页码: 51-53,56

摘要：采用射频(RF)反应溅射法,在微结构衬底上制备氧化钒薄膜,研究了氧气压、衬底温度、退火条件及薄膜厚度对薄膜电阻及电阻温度系数(TCR)的影响.在氮气保护下,采用常规退火和快速升降温退火对薄膜...
16. 信息

作者：

刊名：真空科学与技术学报

发表期刊： 2005年z1期

页码: 插1,插3-插5,31

摘要：
17. Ag层厚度对NiCo/Ag多层膜的微结构及磁学性能的影响

作者：曾飞杨国华潘峰耿魁伟艾家和高阳

刊名：真空科学与技术学报

发表期刊： 2005年z1期

页码: 47-50

摘要：采用磁控溅射方法制备了不同Ag层厚度的NiCo/Ag多层膜,研究了Ag层厚度对NiCo/Ag多层膜微结构及其磁学性能的影响.研究结果表明,NiCo/Ag多层膜中NiCo层在FCC的Ag层上准...
18. 直流磁控溅射制备ZnO薄膜的结构及电学性质研究

作者：付光宗刘高斌廖克俊方亮李丽杨丰帆

刊名：真空科学与技术学报

发表期刊： 2005年z1期

页码: 86-89

摘要：本文采用直流反应磁控溅射方法在平面玻璃上制备了ZnO薄膜.所得的ZnO薄膜利用X光衍射,扫描电子显微镜和原子力显微镜进行分析和表征.实验结果表明,ZnO薄膜的结构和电学性质与合成条件密切相关...
19. ZnO同质p-n结的研究

作者：刘洪图徐传明徐军杨晓杰许小亮谢家纯

刊名：真空科学与技术学报

发表期刊： 2005年z1期

页码: 101-104

摘要：调节反应气体中O2的比例和RF电源的功率可以增加本征施主V0的形成焓,降低本征受主VZn和Oi的形成焓,制备出p型ZnO薄膜;采用掺杂金属Al制备出低电阻n型ZnO薄膜,在此基础上得到性能可...
20. 兰州重离子冷却储存环10-10 Pa 大型超高真空系统

作者：侯生军吴慧敏张军辉张喜平张新俊杨晓天胡振军蒙峻衡昌胜郝斌干

刊名：真空科学与技术学报

发表期刊： 2005年z1期

页码: 43-46,50

摘要：形成并成功地实施一套完整的超高真空获得方案,以满足兰州重离子加速器冷却储存环(HIRFL-CSL)6×10-9Pa超高真空度的要求.这套方案包括合理选择和配置真空排气系统及其他设备、合理选择...
21. 铁氧体瓷棒真空镀膜技术

作者：刘刚夏兴顺杨中华王从香

刊名：真空科学与技术学报

发表期刊： 2005年z1期

页码: 109-111,117

摘要：表面金属化的铁氧体瓷棒是铁氧体圆极化移相器的关键构件,表面金属化膜层的均匀性是其重要的指标.本文主要研究镀膜工艺、镀膜夹具对镀膜均匀性的影响.采用脉冲宽度经验测试法对铁氧体棒表面镀膜厚度进行...
22. 多枝CdS纳米晶粒的溶剂热法制备及光学性能研究

作者：王青青赵高凌韩高荣

刊名：真空科学与技术学报

发表期刊： 2005年z1期

页码: 72-75

摘要：本文以溶剂热法在乙二醇溶剂里制备了小尺寸的多枝权CdS纳米晶粒,通过溶剂、硫源的选择,使其直径接近激子的玻尔半径(6nm),分析硫源和溶剂对CdS粒子晶体结构、形貌和尺寸的控制作用.对多枝权...
23. 单级水蒸汽喷射泵抽气模型的修正

作者：于治明巴德纯廖国进杨乃恒王庆王晓冬

刊名：真空科学与技术学报

发表期刊： 2005年z1期

页码: 54-56

摘要： 11从研究单级水蒸气喷射泵计算模型出发,对前人的三种典型计算模型的计算结果与实验数据进行比较,得出各自的计算误差,继而对各自的实用性进行评价.在对奥·芳夫计算模型的进一步计算分析中发现计算曲...
24. 太阳系类地行星际真空环境特性研究

作者：杨亚天涂建辉达道安

刊名：真空科学与技术学报

发表期刊： 2005年z1期

页码: 1-8

摘要：用玻耳兹曼公式(BF)计算行星表面气体压力随高度的变化,取得了满意的结果.但用BF计算行星表面大气总分子数,则给出了发散的结果.对BF重新进行归一化,引入一个与距离r,温度T有关的归一化因子...
25. Al、Au溅射薄膜的剥离技术研究

作者：于映罗仲梓翁心桥赵晨

刊名：真空科学与技术学报

发表期刊： 2005年z1期

页码: 112-114

摘要：本文采用氯苯浸泡法对(0.2～2.0)μm的Al、Au溅射薄膜进行剥离,分析了光刻胶厚度和薄膜厚度与剥离图形的关系,对剥离过程中氯苯浸泡工艺以及溅射工艺对剥离图形的影响进行了研究,并在2.0...
26. 射频溅射氧化锌薄膜晶体结构和电学性质

作者：何青刘唯一周志强孙云徐传明李伟李凤岩汲明亮

刊名：真空科学与技术学报

发表期刊： 2005年z1期

页码: 90-92,100

摘要：利用射频磁控溅射ZnO:Al(3wt%)陶瓷靶材制备ZAO薄膜,利用X射线衍射仪和霍尔测试仪分析了不同衬底温度和工作压强对薄膜结构和电学性能的影响.结果表明,随工作压强的降低,薄膜(002)...
27. 分压强质谱计校准装置测量不确定度评估

作者：冯焱李得天

刊名：真空科学与技术学报

发表期刊： 2005年z1期

页码: 39-42

摘要：为了评估分压强质谱计校准装置的不确定度,对作为参考标准的磁悬浮转子规进行了大量实验,包括磁悬浮转子规的长期稳定性、切向动量传递系数随气体种类和温度的变化等.在此基础上,对两种测量方法测量1～...
28. 串联密封系统泄漏模拟试验研究

作者：刘阳刘鹰孙冲崔展鹏

刊名：真空科学与技术学报

发表期刊： 2005年z1期

页码: 57-60,71

摘要：为进一步验证多级串联密封系统的泄漏理论和规律,分别进行了双道大型空心金属圈模拟试验和三道橡胶圈泄漏模拟实验,试验中综合采用了灵敏度很高的各种氦质谱检漏方法.试验结果表明,多级串联密封系统的泄...
29. 碳纳米管冷阴极大电流发射机理的研究

作者：娄朝刚张晓兵杨扬雷威

刊名：真空科学与技术学报

发表期刊： 2005年z1期

页码: 80-82,89

摘要：本文对碳纳米管冷阴极的场致发射机理进行了理论和实验研究.研究发现,如果场致发射冷阴极的发射面积很小,有可能得到较大的发射电流密度.当发射面积增加时,冷阴极的平均发射电流密度迅速下降,很难得到...
30. 电压和时间对微弧氧化法制备的TiO2陶瓷薄膜的光催化性能的影响

作者：徐刚曹立郑宏晔韩高荣

刊名：真空科学与技术学报

发表期刊： 2005年z1期

页码: 64-67,71

摘要：在弱酸性环境下,采用微弧氧化法在钛基板表面实现了TiO2陶瓷的制备,并就施加电压和微弧氧化的时间对陶瓷薄膜的光催化性能进行了研究.结果显示,较高的阳极电压和较长的微弧氧化时间有利于制备光催化...

真空科学与技术学报基本信息

刊名	真空科学与技术学报	主编	吴锦雷
曾用名	真空科学与技术
主办单位	中国真空学会	主管单位	中国科学技术协会
出版周期	月刊	语种	chi
ISSN	1672-7126	CN	11-5177/TB
邮编	100022	电子邮箱	vst@chinesevacuum.com
电话	010-58206280	网址
地址	北京市朝阳区建国路93号万达广场9号楼614室