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真空科学与技术学报期刊
出版文献量（篇）
4084
总下载数（次）
3
总被引数（次）
19905

真空科学与技术学报

Chinese Journal of Vacuum Science and Technology
曾用名： 真空科学与技术

CACSCDJSTCSTPCD

影响因子 0.3586
本刊是全国中文核心期刊，长期被EI、CA、SA等国际蓍名检索系统收录，已全文上网。本刊通过中国图书贸易总公司代理向国外发行。目前在美国、英国、德国、荷兰及我国的香港与台湾地区均有订阅，有一定的影响力。在国内各高等院校科学院所涉及到真空科学与技术论文都大多数向本刊投稿，已成为国内外关学者发表高水平科研成果的主要载体。
主办单位：
中国真空学会
ISSN：
1672-7126
CN：
11-5177/TB
出版周期：
月刊
邮编：
100022
地址：
北京市朝阳区建国路93号万达广场9号楼614室
出版文献量（篇）
4084
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19905
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  • 1. 新型透明导电ZnO:Mo薄膜
    作者： 张群 杨锡良 沈杰 王三坡 章壮健
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2008年1期
    页码:  1-5
    摘要： 采用直流磁控反应溅射技术成功制备了新型ZnO:Mo(ZMO)透明导电薄膜.研究了钼掺杂量和基片温度等参数对ZMO薄膜结构和光电性能的影响.结果表明,薄膜的结构和光电性能与钼含量以及基片温度有...
  • 2. 螺旋线行波管慢波组件散热性能的研究
    作者： 丁耀根 于艳春 刘濮鲲 刘燕文 刘胜英 杨建中 王晓艳 王立新 王自成 王莉 缪国兴 赵丽 赵郁竹 闰莹 陆玉新 韩勇
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2008年1期
    页码:  6-10
    摘要： 提出了慢波组件散热性能的评价方法--电阻温度系数法,利用此方法对冷弹压法、缠钼带热挤压法、石墨热挤压法及新型的无变形热挤压法制备的慢波组件散热性能进行了实验研究,结果表明无变形热挤压方法比冷...
  • 3. 纯镁强流脉冲电子束表面改性及合金化研究
    作者： 涂赣峰 田小梅 董闯 赵铁钧 郝胜智 高波
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2008年1期
    页码:  11-15
    摘要： 强流脉冲电子束是一门新兴的表面处理技术.本文利用强流脉冲电子束对纯镁进行表面改性,并尝试表面合金化铝处理.利用光学显微镜、扫描电镜和透射电镜对表面处理层形貌和组织结构进行了分析,同时也进行了...
  • 4. 连续快速常压化学气相沉积法制备TiO2自清洁镀膜玻璃
    作者： 刘军波 宋晨路 应益明 翁伟浩 翁文剑 韩高荣
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2008年1期
    页码:  16-20
    摘要： 以四异丙醇钛(TTIP)为先驱体,采用常压化学气相沉积(APCVD)法模拟镀膜工艺过程,制备出了TiO2自清洁镀膜玻璃.通过扫描电镜(SEM)、X射线衍射(XRD)、紫外-可见透射光谱(UV...
  • 5. 高真空直排大气干泵的最新进展
    作者： 刘坤 巴德纯 常学森 李涛 杨乃恒 陈瑶
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2008年1期
    页码:  21-25
    摘要： 为了降低半导体设备中的真空系统的成本、实现高真空获得设备的清洁化、简单化和微型化,人们一直在寻求能达到高真空并且直排大气的干式真空泵.近几年,国外已经出现了仅用一台泵就可以实现从高真空到大气...
  • 6. 彩色等离子体显示器寻址功耗等效电路模型
    作者： 刘纯亮 屠震涛 张军 张小宁 梁志虎
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2008年1期
    页码:  26-31
    摘要： 彩色等离子体显示器中引起的容性电流构成了寻址IC中MOS管开关电流的主体,以此为基础建立了寻址功耗等效电路模型,得到寻址功耗计算公式.典型图案寻址功耗的实验结果表明,寻址功耗和各子场图像数据...
  • 7. 介质阻挡放电特性的仿真与实验研究
    作者： 方志 章程 赵龙章 邱毓昌
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2008年1期
    页码:  32-36
    摘要： 基于用电压控制电流源(CCS)模拟微放电过程的DBD等效电路模型,建立了DBD的动态仿真模型来对空气中平板电极结构DBD的放电过程进行仿真,计算得到了放电的电压、电流波形及Lissajous...
  • 8. PET基纳米Ag薄膜导电及电磁屏蔽性能研究
    作者： 王鸿博 高卫东 魏取福
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2008年1期
    页码:  37-41
    摘要： 为了研究纳米Ag薄膜厚度对导电及电磁屏蔽性能的影响,采用磁控溅射法在PET非织造布上制备了不同厚度的纳米结构Ag薄膜,用原子力显微镜(ARM)分析不同厚度纳米结构Ag薄膜形貌及粒径的变化;研...
  • 9. CIG前驱膜叠层方式对CIGS膜成分和结构的影响
    作者： 宋军 庄大明 张弓 李春雷 李秋芳
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2008年1期
    页码:  42-46
    摘要： 采用中频交流磁控溅射方法制备了三种不同叠层方式的CuInGa(CIG)前驱膜.采用固态法硒化,获得了GIGS吸收层.采用SEM和XRD观察和分析了薄膜的成分、组织结构和表面形貌.着重分析不同...
  • 10. CrCO-Ti保护薄膜的制备、结构及机械性能
    作者： 胡作启
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2008年1期
    页码:  47-50
    摘要： 用非平衡脉冲直流磁控溅射技术制备出了CrCO-Ti薄膜,其结构、耐磨性和表面能分别用XRD(Philips X-pert)、Pinon-Disc摩擦磨损测试仪(Tribometer Wear...
  • 11. Si基片上Au膜真空紫外反射特性研究
    作者： 付绍军 刘颍 周洪军 干蜀毅 徐向东 洪义麟 霍同林
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2008年1期
    页码:  51-54
    摘要： 对Si片上Au膜在真空紫外波段的反射特性进行了系统的研究.采用离子束溅射,选择不同的镀膜参数,在经不同前期清洗方法处理过的Si片上,镀制了各种厚度的Au膜.利用科大国家同步辐射实验室的反射率...
  • 12. 直流反应磁控溅射相关工艺条件对TiO2薄膜反射率性质的影响
    作者： 巴德纯 沈辉 王贺权 闻立时
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2008年1期
    页码:  55-58
    摘要： 应用直流反应磁控溅射设备在硅基底上制备TiO2薄膜,利用n&k仪对薄膜的反射率进行检测,结果表明TiO2薄膜可以作为太阳电池减反射薄膜应用,并且通过改变工艺条件可以调控薄膜的反射低谷.当总压...
  • 13. 氧化锌铝(ZAO)陶瓷靶材制备及其薄膜性能
    作者： 侯亚奇 庄大明 张弓 杨伟方 梁展鸿
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2008年1期
    页码:  59-63
    摘要： 溶胶-凝胶方法制备的ZnO和Al2O3混合粉末经冷压预成型加真空低压烧结,制备了高致密度(相对密度99%)、低成本的ZAO陶瓷靶材.研究了ZAO靶材与无氧铜的粘接性能.用中频交流磁控溅射ZA...
  • 14. 沉积参数对含氢非晶碳膜结构及性能的影响
    作者： 巴德纯 张艳 李明 王凤 蔺增
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2008年1期
    页码:  64-66
    摘要： 本文利用射频等离子体增强化学气相沉积(RF-PECVD)技术,以CH4、H2为气源,Ar为稀释气体,通过增加过渡层和改变输入功率和气体成分比例(CH4/H2),在不锈钢基底上制备了含氢非晶碳...
  • 15. 偏压对磁控溅射沉积铌膜表面性能的影响
    作者： 崔江涛 杨士勤 田修波
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2008年1期
    页码:  67-71
    摘要： 利用直流磁控溅射在钢基体上沉积了铌薄膜,分别采用扫描电镜、原子力显微镜、X射线衍射仪和电化学分析仪研究了不同偏压下铌膜表面形貌、相结构以及耐蚀性.实验结果表明:在低于300 V偏压下,偏压的...
  • 16. 纳米TiO2薄膜的制备与表面形貌研究
    作者： 周明飞 孙兆奇 孟凡明 蔡琪
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2008年1期
    页码:  72-77
    摘要： 研究退火温度对薄膜相结构、表面化学组成及形貌的影响.采用射频磁控溅射法在单晶硅片上淀积TIO2薄膜,通过X射线衍射(XRD)、原子力显微镜(AFM)和X光电子能谱(XPS)对其进行表征.结果...
  • 17. 双层预制膜对CIGS薄膜结构和形貌的影响
    作者： 元金石 庄大明 张弓 李春雷 韩东麟
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2008年1期
    页码:  78-82
    摘要： 采用中频交流磁控溅射方法,在玻璃基底上依次沉积了Mo、CuIn、CuGa薄膜,制备了CuInGa(CIG)层预制膜,采用固态硒化法制备获得了Cu(In1-xGax)Se2(CIGS)吸收层薄...
  • 18. 基于单根氧化锌纳米线的场效应管的光电特性研究
    作者： 孙大林 李静雷 沈浩（辶壬页） 邢晓艳 郑凯波 陈国荣
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2008年1期
    页码:  83-86
    摘要： 本文介绍了一种基于单根氧化锌纳米线场效应管的制备方法,用XRD和SEM分析了样品的结构和形貌,测试了它的输出特性曲线和转移特性曲线.当Vds=2 V时,测得场效应管的开启电压Vgt=-16....
  • 19. 氮化锌空心粉末的制备和表征
    作者： 王书运
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2008年1期
    页码:  87-89
    摘要： 报道了氮化锌空心粉末的制备和表征.将纯Zn粉置于流量为500 mL/min的NH3气流中,在600℃温度下氮化150 min,制备出Zn3N2空心粉末.用X射线衍射(XRD)和扫描电子显微镜...
  • 20. 静态膨胀法真空系统
    作者： 于红燕 王池 葛楚鑫 赵士燕
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2008年1期
    页码:  90-93
    摘要： 本文介绍了中国计量院新建立的一套静态膨胀法真空系统,其测量范围:5×10-4Pa～1×105 Pa,扩展不确定度:0.19%～0.02%(k=2).用参考体积法确定了系统体积比,并用增量法和...
  • 21. 《真空科学与技术学报》征稿说明
    作者：
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2008年1期
    页码:  94
    摘要：

真空科学与技术学报基本信息

刊名 真空科学与技术学报 主编 吴锦雷
曾用名 真空科学与技术
主办单位 中国真空学会  主管单位 中国科学技术协会
出版周期 月刊 语种
chi
ISSN 1672-7126 CN 11-5177/TB
邮编 100022 电子邮箱 vst@chinesevacuum.com
电话 010-58206280 网址
地址 北京市朝阳区建国路93号万达广场9号楼614室

真空科学与技术学报统计分析

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