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真空科学与技术学报期刊
出版文献量（篇）
4084
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真空科学与技术学报

Chinese Journal of Vacuum Science and Technology
曾用名： 真空科学与技术

CACSCDJSTCSTPCD

影响因子 0.3586
本刊是全国中文核心期刊，长期被EI、CA、SA等国际蓍名检索系统收录，已全文上网。本刊通过中国图书贸易总公司代理向国外发行。目前在美国、英国、德国、荷兰及我国的香港与台湾地区均有订阅，有一定的影响力。在国内各高等院校科学院所涉及到真空科学与技术论文都大多数向本刊投稿，已成为国内外关学者发表高水平科研成果的主要载体。
主办单位：
中国真空学会
ISSN：
1672-7126
CN：
11-5177/TB
出版周期：
月刊
邮编：
100022
地址：
北京市朝阳区建国路93号万达广场9号楼614室
出版文献量（篇）
4084
总下载数（次）
3
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  • 1. 高迁移率IWO透明导电氧化物薄膜制备及其退火处理研究
    作者： 张群 李喜峰 李桂锋 王颖华
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2008年2期
    页码:  95-98
    摘要： 采用直流磁控溅射法在清洁玻璃基片上制备了掺钨氧化铟(IWO)透明导电氧化物薄膜.研究了氧分压及其退火处理对IWO薄膜光电性能的影响.实验发现薄膜的光电性能对氧分压非常敏感,退火郸理有助于改善...
  • 2. 锰硅化物在Si(111)-7×7表面的制备及其STM研究
    作者： 孙静静 王丹 邹志强
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2008年2期
    页码:  99-102
    摘要： 利用超高真空扫描隧道显微镜研究了室温至610℃的条件下锰在Si(111)-7×7表面的反应生长情况,制备出了锰纳米团簇和几种锰硅化物.实验结果表明:温度低于260℃时,生成了占据在衬底7×7...
  • 3. 插接式真空灭弧室电弧形态的试验研究
    作者： 于力 何广丽 刘志远 王季梅 王荃 苑舜
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2008年2期
    页码:  103-107
    摘要： 为了解决传统对接式真空负荷开关在大容量发电机出口负荷开关开发过程中存在无法满足大负荷电流的瓶颈问题,基于插接式触头结构的真空灭弧室具有承载大负荷电流的优势,使其成为发电机出口端真空负荷开关设...
  • 4. GaAs(331)A面InAs自组织纳米结构形貌演化
    作者： 任正伟 牛智红 贺振宏
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2008年2期
    页码:  108-111
    摘要： 采用分子束外延方法在CaAs(331)A高指数衬底上制备自对齐InAs纳米线(QWRs)或者三维(3D)岛状结构.InAs纳米线(QWRs)选择性生长在CaAs层的台阶边缘.通过原子力显微镜...
  • 5. 磁控溅射制备Ag/PEO-like生物功能材料及其性能研究
    作者： 付亚波 周美丽 岳蕾 翁静 陈强
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2008年2期
    页码:  112-115
    摘要： 以乙二醇二甲基醚为单体,采用磁控溅射的方法制备Ag/PEO-like复合薄膜,探讨使用等离子体技术同时完成PEO-like聚合与Ag溅射的可行性,研究了溅射靶与基材的距离、单体与工作气体流量...
  • 6. 沉积在液体基底表面铁薄膜的矫顽力与温度关系研究
    作者： 周小莉
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2008年2期
    页码:  116-119
    摘要： 研究了沉积在液体基底表面铁薄膜的矫顽力与温度的依赖关系.实验发现:矫顽力Hc和交换偏置He分别在临界温度Tcrit=10 K～15 K和4 K呈现一个极大峰值.研究结果表明,该奇异的矫顽力特...
  • 7. 钛酸钡陶瓷中居里点移动规律与机理研究进展
    作者： 周晓华 唐斌 张树人 袁颖
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2008年2期
    页码:  120-125
    摘要： 钛酸钡是研究最多、应用最广泛的钙钛矿型铁电材料.钛酸钡陶瓷中的居里点是其最重要的性能之一,受到人们的广泛关注.本文综述了使钛酸钡陶瓷居里点移动的相关要素,指出钛酸钡陶瓷的居里点会受到掺杂、尺...
  • 8. ZnO上肖特基接触的研究进展
    作者： 吴芳 孔春阳 张文婷 张淑芳 彭丽萍 方亮 董建新
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2008年2期
    页码:  126-132
    摘要： 由于ZnO存在本征施主缺陷(锌间隙和氧空位),使得表面存在较高浓度的施主能级,难以获得肖特基接触.本文回顾了近年来在n型ZnO上制备肖特基接触的研究进展,对n型ZnO上制备肖特基接触的Au、...
  • 9. 复合背接触层与背电极的匹配对CdTe太阳电池性能的影响
    作者： 冯良桓 宋慧瑾 张静全 李卫 武莉莉 郑家贵 鄢强 雷智 黎兵
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2008年2期
    页码:  133-137
    摘要： 本文研究Ni和Au两种背电极在有、无ZnTe/ZnTe:Cu背接触层时对碲化镉太阳电池性能的影响及其机理.试验结果表明,在没有ZnTe/ZrTe:Cu复合背接触层时,Ni和Au相比,输入特性...
  • 10. 射频等离子体改性工艺与氧化铟锡薄膜性能研究
    作者： 钟志有
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2008年2期
    页码:  138-142
    摘要： 采用正交实验方法研究了氧气等离子体表面改性中各工艺因素对ITO薄膜表面性质的影响,获得了IID表面改性的最佳工艺条件,并且通过XPS,AFM,透射光谱的分析以及薄膜表面接触角和方块电阻的测量...
  • 11. 电子束蒸发玻璃薄膜中间层的阳极键合研究
    作者： 刘旭 吴亚明 沈伟东 章岳光 顾培夫
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2008年2期
    页码:  143-147
    摘要： 介绍了一种用电子束蒸发Schott 8329玻璃薄膜作为中间层,实现硅-硅以及硅-SOI阳极键合的方法.调整蒸发时的工艺并且450℃退火,沉积了粗糙度9.62 nm、初始应力139 MPa、...
  • 12. 大功率电子束轰击炉电子枪电源控制策略
    作者： 何少佳 莫金海 韦寿祺
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2008年2期
    页码:  148-152
    摘要： 在电子束轰击炉中,加速电源采用六相十二脉波全波整流和开环控制,电子束流、聚焦电流和偏扫电流自动伺服加速电压变化的新控制策略.这样在运行过程中,即使加速电压波动较大,电子束功率、聚焦位置和偏扫...
  • 13. 直流反应磁控溅射法制备VO2薄膜
    作者： 方应翠 王君 王旭迪 陈庆连 陈长琦
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2008年2期
    页码:  153-158
    摘要： VO2是一种相变材料.发生相变时,VO2的电阻、透过率、反射率都会发生显著的变化;反应磁控溅射法是制备VO2薄膜的一种比较理想的方法.文中,重点讨论氧氩气质量流量比m(O2)/m(Ar)、基...
  • 14. 制备工艺条件对HfO2薄膜结构和性能的影响
    作者： 刘伟 刘嘉禾 张树玉 王宏斌 苏小平 郝鹏
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2008年2期
    页码:  159-163
    摘要： 用电子束蒸发、离子束辅助、反应磁控溅射三种方法在石英衬底上制备了氧化铪薄膜.利用掠角X射线衍射和扫描电镜分析了不同制备工艺条件下氧化铪薄膜的晶体结构和显微结构,用紫外.可见分光光度计、椭偏仪...
  • 15. 衬底温度对ITO和ITO:Zr薄膜性能的影响
    作者： 吴建生 张波 董显平
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2008年2期
    页码:  164-168
    摘要： 利用双靶共溅法在玻璃衬底上沉积了Zr掺杂ITO薄膜,对比研究了在不同衬底温度下ITO和ITO:Zr薄膜性能的变化.XRD和AFM分析表明,ITO:Zr比ITO薄膜具有更好的晶化程度和较低的表...
  • 16. 行波管栅控电子枪栅网的结构可靠性
    作者： 何小琦 宋芳芳 张勇
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2008年2期
    页码:  169-173
    摘要： 栅控电子枪栅网的结构设计以及栅网对束流的调整作用决定其结构设计必须具有良好的抗振可靠性,同时应保证尽可能少地截获电子枪发射的电子束,以防止发生打火和栅极发射.本文使用有限元模拟技术对栅控电子...
  • 17. 交叉型天线感应耦合等离子体源放电特性及均匀性
    作者： 卢春山 孙刚 孙恺 辛煜
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2008年2期
    页码:  174-178
    摘要： 本文介绍了一种交叉型天线射频感应耦合等离子体源,射频天线穿过交叉排列的石英管内置于真空腔体中.本文运用朗谬尔探针方法诊断了放电等离子体的参量及其均匀性,运用发射光谱技术进行了Af谱线[4s'...
  • 18. 大直径法兰磁性液体静密封的实验研究
    作者： 何新智 孙明礼 崔展鹏 李德才 郝瑞参
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2008年2期
    页码:  179-181
    摘要： 大直径磁性液体密封的研究国内外还未见报道.本文在设计的大直径法兰磁性液体密封的实验台上,测定了密封的耐压和泄漏率大小,分析了相关数据,指出大直径磁性液体静密封的耐压规律和一般小法兰相同,并且...
  • 19. 低价氟化物法从氧化铝提取铝的研究
    作者： 戴永年 李秋霞 陈为亮
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2008年2期
    页码:  182-184
    摘要： 利用低价氟化铝歧化反应,用碳作还原剂,在真空条件下,从氧化铝中提取铝进行了实验研究.实验结果表明:不同粘接指数的煤混合物作为还原剂可以防止喷料;同时得到较优的实验参数:冰晶石与氧化铝的质量比...
  • 20. 皮革真空鞣制技术的试验研究
    作者： 文怀兴 章川波 褚园
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2008年2期
    页码:  185-187
    摘要： 为了解决皮革鞣制污染严重、工作时间长等技术问题,利用真空机制的脱气、膨松、浸渍、脱水等作用,实施与真空状态相适应的工艺条件进行皮革鞣制处理.论述了真空鞣制的机理和特点,研制了皮革真空转鼓,进...
  • 21. 第十六届国际二次离子质谱学会议概况
    作者： 查良镇
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2008年2期
    页码:  后插1-后插2
    摘要：

真空科学与技术学报基本信息

刊名 真空科学与技术学报 主编 吴锦雷
曾用名 真空科学与技术
主办单位 中国真空学会  主管单位 中国科学技术协会
出版周期 月刊 语种
chi
ISSN 1672-7126 CN 11-5177/TB
邮编 100022 电子邮箱 vst@chinesevacuum.com
电话 010-58206280 网址
地址 北京市朝阳区建国路93号万达广场9号楼614室

真空科学与技术学报统计分析

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