真空科学与技术学报期刊
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真空科学与技术学报

Chinese Journal of Vacuum Science and Technology
曾用名: 真空科学与技术

CACSCDJSTCSTPCD

影响因子 0.3586
本刊是全国中文核心期刊,长期被EI、CA、SA等国际蓍名检索系统收录,已全文上网。本刊通过中国图书贸易总公司代理向国外发行。目前在美国、英国、德国、荷兰及我国的香港与台湾地区均有订阅,有一定的影响力。在国内各高等院校科学院所涉及到真空科学与技术论文都大多数向本刊投稿,已成为国内外关学者发表高水平科研成果的主要载体。
主办单位:
中国真空学会
ISSN:
1672-7126
CN:
11-5177/TB
出版周期:
月刊
邮编:
100022
地址:
北京市朝阳区建国路93号万达广场9号楼614室
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  • 作者: 周凯 田振夫 秦琦 莫晓亮 陈国荣
    发表期刊: 2012年6期
    页码:  457-462
    摘要: 金属有机化合物化学气相沉积(MOCVD)系统是制备CaN等半导体薄膜材料和激光器、LED等光电子器件的主要手段,制备出的材料和器件的品质直接依赖于MOCVD系统.本文基于有限体积法,利用商业...
  • 作者: 吴振宇 彭杰 朱丽丽 杨银堂 韩军武 魏经天
    发表期刊: 2012年6期
    页码:  463-467
    摘要: 采用有限元分析方法模拟铜互连系统中的热应力分布,模拟了在铜互连不同位置处应力诱生空洞前后应力的分布及其变化,研究互连中应力诱生空洞可能的生长位置及其几何形状.结果表明,互连中的应力分布呈明显...
  • 作者: 崔东旭 常本康 邱亚峰 郑少成 钱芸生
    发表期刊: 2012年6期
    页码:  468-471
    摘要: 阐述了微通道板(MCP)输出信噪比的概念内涵,提出了MCP输出信噪比测试的具体实现方法.设计了MCP噪声特性分析系统,该系统由真空系统、电子枪组件、高压电源系统、信号处理模块、数据采集和控制...
  • 作者: 刘旭东 张鑫 樊建荣 潘永成 石维坚 范兴明 赵光宙
    发表期刊: 2012年6期
    页码:  472-476
    摘要: 屏蔽罩电位是判断真空断路器灭弧室真空度水平优劣的一种技术手段,研究人员对屏蔽罩电位信号成分及其形成机理进行了大量的研究工作,并在理论上和试验方面取得了一定成果.但对于真空屏蔽罩上电位的成因并...
  • 作者: 刘华东 张鑫 李震 杨家志 樊建荣 潘永成 范兴明 黄知超
    发表期刊: 2012年6期
    页码:  477-482
    摘要: 通过试验得到了触发系统的触发能量、触发电压与真空触发开关(TVS)导通概率、触发时延及分散性的关系,试验结果可以作为高性能真空触发开关控制器的设计与应用的指导.触发点火回路采用陡化高压触发脉...
  • 作者: 姜进红 张珂 邵文生 阎肃秋
    发表期刊: 2012年6期
    页码:  483-486
    摘要: 部分微波管的特殊使用条件要求阴极具有快速启动能力,即要求阴极组件加电后在十几秒甚至更短的时间内达到一定的发射电流.同时,还要求快热阴极组件具有良好的耐振动、冲击能力.本文介绍了高效率快热阴极...
  • 作者: 巩春志 杨士勤 汪志健 田修波 裴宪军
    发表期刊: 2012年6期
    页码:  487-492
    摘要: MATLAB是当今先进计算软件之一,它提供的各类工具箱和内置函数给应用者带来了极大的方便.本文通过调用MATLAB中偏微分方程工具箱和插值函数实现了方管内表面等离子体离子注入的Particl...
  • 作者: Ricky Fu 巩春志 朱宗涛 杨士勤 汪志健 田修波
    发表期刊: 2012年6期
    页码:  493-498
    摘要: 提出了一种基于靶台(工件)二次加速的束线离子注入的新方法,基本原理是将传统束线离子注入和等离子体离子注入有效复合.采用二维Particle-in-cell (PIC)模型对这种注入方法进行了...
  • 作者: 刘竞业 张明
    发表期刊: 2012年6期
    页码:  499-503
    摘要: 以冷阴极等离子体交叉场调制开关为研究对象,将系统内放电过程中形成的等离子体视为电子与正离子构成的双流体,引入扩散系数与迁移率来表征电子流与离子流的运动,用离子产率来表征与流体密切相关的离子密...
  • 作者: 曾志刚 杨鹏辉 胡志宇
    发表期刊: 2012年6期
    页码:  504-508
    摘要: 碲化铋材料是目前已知的室温下性能优异的热电材料之一.本文利用射频磁控溅射在不同基片温度下制备了碲化铋薄膜.研究发现,基片温度对薄膜的微结构和表面形貌影响显著.随着温度的提高,薄膜内晶粒尺寸都...
  • 作者: 刘斌 吴天如 张磊 沈鸿烈 潘园园
    发表期刊: 2012年6期
    页码:  509-513
    摘要: 采用热丝化学气相沉积法制备了不同B2H6掺杂比例(B2H6/SiH4为2% ~ 15%)的p型纳米晶硅薄膜,通过探索B2H6掺杂比例、晶化率、光学带隙和电学性能(电导率、载流子浓度、霍尔迁移...
  • 作者: 于光龙 张志坚 杨尊先 郑灼勇 郭太良 陈景水
    发表期刊: 2012年6期
    页码:  514-518
    摘要: 先采用阳极氧化法在铝基板上制备了多孔氧化铝(AAO)膜,并以铝基AAO膜作为前驱物,采用化学腐蚀溶液分别制备出了具有纳米结构、微米结构和微纳复合结构表面的薄膜材料结构.利用扫描电子显微镜、荧...
  • 作者: 孙鸿 沟引宁 黄楠
    发表期刊: 2012年6期
    页码:  519-523
    摘要: 考察了C(硬)/C(软)调制比对多层膜结构和性能的影响.采用磁过滤直流阴极真空弧源沉积技术制备了C/C多层膜,通过Raman光谱对多层膜的结构进行了表征;用硬度计和销盘式摩擦磨损试验机测试了...
  • 作者: 卫斌 吉元 张隐奇 王丽
    发表期刊: 2012年6期
    页码:  524-528
    摘要: 采用环境扫描电镜(ESEM),原位观察了水溶性晶体NaCl和KH2PO4的溶解-结晶过程.研究了ESEM的水湿环境(压力、温度及相对湿度φ)对水溶性晶体结晶形态的影响.通过控制φ值及水蒸汽的...
  • 作者: 吴震弘 汪洋
    发表期刊: 2012年6期
    页码:  529-532
    摘要: 采用程序升温脱附实验方法测量氧的同位素C1602,C18O2和18Q2分别在Ni16O表面吸附后的脱附谱,其结果表明C16O2在Ni16O表面吸附后出现C16O2和C16O两个波峰,且C16...
  • 作者: 李松 杨尊先 郭再萍 郭太良
    发表期刊: 2012年6期
    页码:  533-538
    摘要: 以锐钛矿TiO2粉末为原料,通过简单的两次水热及氩气气氛下热处理工艺,制备出新型TiO2(B)/碳一维复合纳米线材料.研究结果表明该复合纳米线主要是由TiO2(B)所组成,其外层包覆一层无定...
  • 作者: 万贺利 刘大春 徐宝强 戴永年 杨斌
    发表期刊: 2012年6期
    页码:  539-544
    摘要: 在真空炉中(30~40 Pa)1273 K下,将物料放人螺纹密封的石墨坩埚中进行不同时间下的还原反应.本文采用热力学分析及X射线衍射、扫描电子显微镜及能量弥散X射线谱等方法与手段,系统研究了...
  • 作者: 代沁伶 柴希娟 梁艳君 解林坤 黄元波
    发表期刊: 2012年7期
    页码:  545-549
    摘要: 采用射频辉光放电氩等离子体,在工作压力为20Pa、功率为30W的条件下对低密度聚乙烯薄膜进行了不同时间的表面处理.借助静态接触角、X射线光电子能谱仪、原子力显微镜、差示扫描量热仪对薄膜改性前...
  • 作者: 杭凌侠 潘永强 黄国俊
    发表期刊: 2012年7期
    页码:  550-554
    摘要: 为了降低类金刚石(DLC)薄膜的应力,使用脉冲真空电弧离子镀(PVAD)和电子束热蒸发相结合的复合沉积技术,在Si基底上制备了一系列不同锗含量(原子百分比)的Ge-DLC薄膜样片,研究了锗含...
  • 作者: 刘永安 曹希斌 赛小锋 赵宝升 韦永林
    发表期刊: 2012年7期
    页码:  555-558
    摘要: 碲化铯(Cs2Te)阴极是紫外探测器的重要组成部分,其研究的时间较早,在某些紫外探测领域得到了良好应用.但是,同时具有高量子效率及良好日盲特性的阴极制备工艺还需要进一步探索.本文采用电子束蒸...
  • 作者: 林泽彬 符春林 蔡苇 邓小玲 高家诚
    发表期刊: 2012年7期
    页码:  559-565
    摘要: 铁电薄膜具有反常光生伏打效应,且光伏特性可以通过电场进行调控,在铁电光伏电池、光驱动器、光传感器等方面具有广阔的应用前景.本文对锆钛酸铅、锆钛酸镧铅等铁电薄膜及铁酸铋多铁薄膜的铁电性与光伏特...
  • 作者: 徐志虎 李健 闫君
    发表期刊: 2012年7期
    页码:  566-571
    摘要: 真空共蒸发制备掺Zn(2%,4%(质量比))的SnS薄膜.研究热处理对Zn掺杂SnS薄膜的结构、表面形貌、化学组分及光学特性的影响.实验给出2%掺Zn薄膜经300℃,40min热处理后,得到...
  • 作者: 李晓峰 石峰 贺英萍 邱永生
    发表期刊: 2012年7期
    页码:  572-576
    摘要: 论述了Na2KSb(Cs)多碱光电阴极光电发射过程的表征和测量,提出了利用荧光谱来表征光电阴极电子跃迁几率的方法.在同样工艺条件下测量了像增强器多碱光电阴极的光谱响应和荧光谱,比较了多碱光电...
  • 作者: 刘正 李幼真
    发表期刊: 2012年7期
    页码:  577-581
    摘要: 采用磁控反应溅射技术在p型Si(111)衬底上制备了Ta-Si-N薄膜与Cu/Ta-Si-N复合结构,并对样品进行了快速热处理.用四探针电阻测试仪、原子力显微镜、X射线衍射和扫描电镜等对样品...
  • 作者: 刘大春 徐宝强 戴永年 杨先凯 杨斌 熊恒
    发表期刊: 2012年7期
    页码:  582-587
    摘要: 从理论上分析了采用真空蒸馏法处理铜砷锑合金综合回收其中有价金属铜银的可行性,并通过实验探讨了蒸馏温度、保温时间、真空度、元素As,Sb对Cu与Ag分离和富集效果的影响.结果表明:在蒸馏温度1...
  • 作者: 冯乃祥 彭建平 狄跃忠 王耀武
    发表期刊: 2012年7期
    页码:  588-592
    摘要: 真空金属热还原法是一种具有工业应用前景的炼锂方法.本文对常压下以工业碳酸锂、氧化铝和氧化钙为原料合成LiAlO2以及真空条件下铝热还原LiAlO2提取金属Li进行了实验研究.研究了不同煅烧条...
  • 作者: 刘大春 周厚军 戴永年 李亮 杨斌 罗启
    发表期刊: 2012年7期
    页码:  593-598
    摘要: 采用含银铅锑多元合金为原料,对其真空蒸馏法富集Ag、Sb的可行性和工艺进行探讨,考察蒸馏温度、恒温时间对合金中各组分的挥发行为影响,理论和实验均证实了该方法可行.试验结果表明:系统压力5~2...
  • 作者: 戴永年 李艳 杨斌 郁青春
    发表期刊: 2012年7期
    页码:  599-604
    摘要: 以含高岭石、一水硬铝石、黄铁矿的高岭土为原料,经过压块烘干后,在真空(15~50Pa)、不同加热温度下,采用同步热分析仪(DSC-TGA)、X射线衍射(XRD)等分析手段对高岭土在真空下的热...
  • 作者: 丁耀根 王勇 谢兴娟 黄传禄
    发表期刊: 2012年7期
    页码:  605-610
    摘要: 根据空间电荷波理论,利用微波等效传输线的概念,建立了多间隙耦合腔中注波互作用的小信号计算模型.同时,还基于电子圆盘模型,建立了相应的一维大信号计算模型.依据模型编写了计算机程序进行了计算模拟...
  • 作者: 刘濮鲲 郝保良 韦宇祥 黄明光
    发表期刊: 2012年7期
    页码:  611-615
    摘要: 利用EGUN软件设计了一把导流系数为0.07μP的Ka波段空间行波管双阳极电子枪.该枪为皮尔斯型电子枪,双阳极分别为控制阳极(2.58kV)和离子拒止阳极(9kV).该设计应用综合迭代法的计...

真空科学与技术学报基本信息

刊名 真空科学与技术学报 主编 吴锦雷
曾用名 真空科学与技术
主办单位 中国真空学会  主管单位 中国科学技术协会
出版周期 月刊 语种
chi
ISSN 1672-7126 CN 11-5177/TB
邮编 100022 电子邮箱 vst@chinesevacuum.com
电话 010-58206280 网址
地址 北京市朝阳区建国路93号万达广场9号楼614室

真空科学与技术学报统计分析

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