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真空科学与技术学报2016年出版文献
出版文献量（篇）
4084
总下载数（次）
3
总被引数（次）
19905
真空科学与技术学报
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本刊是全国中文核心期刊，长期被EI、CA、SA等国际蓍名检索系统收录，已全文上网。本刊通过中国图书贸易总公司代理向国外发行。目前在美国、英国、德国、荷兰及我国的香港与台湾地区均有订阅，有一定的影响力。在国内各高等院校科学院所涉及到真空科学与技术论文都大多数向本刊投稿，已成为国内外关学者发表高水平科研成果的主要载体。
主办单位：
中国真空学会
ISSN：
1672-7126
CN：
11-5177/TB
出版周期：
月刊
邮编：
100022
地址：
出版文献量（篇）
4084
总下载数（次）
3
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19905
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刊名： 真空科学与技术学报发表期刊： 2016年1期页码:摘要： 利用一种新的单色LED光谱辐射模型建立大功率单色LED模拟仿真数据库;研究了通过多光谱叠加设计拟合日光光谱,确定了最佳的LED组合;在此基础上,系统分析了不同LED组合对日光光谱的拟合效果....
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刊名： 真空科学与技术学报发表期刊： 2016年1期页码:摘要： 设计了一种新型微气敏传感器的结构,采用SnO2作为敏感材料,并利用ANSYS软件仿真分析,优化了该传感器的某些结构参数.结果得出:传感器基底结构中从上往下SiO2-Si-SiO2三层材料的厚...
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刊名： 真空科学与技术学报发表期刊： 2016年1期页码:摘要： 在p型GaN(0001)光电阴极的化学腐蚀和高温热清洗的处理过程中,为了评价化学处理和热清洗的效果,利用X射线光电子谱分析了不同阶段的光电阴极表面状况.结果表明,开始处理前,表面存在严重的C...
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刊名： 真空科学与技术学报发表期刊： 2016年1期页码:摘要： 针对现有的软件不能很好的解决真空断路器多物理场耦合计算问题,自行开发有针对性的软件是一个良好的途径.本文以断路器灭弧系统为研究对象,重点研究二维物理场的自动剖分问题,以趋正三角形剖分为目标,...
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刊名： 真空科学与技术学报发表期刊： 2016年1期页码:摘要： 为了解决目前模拟预失真器存在的可调性差,增益和相位斜率补偿不够的问题,减小预失真器增益扩展和相位扩张之间的相互影响.本文介绍一种工作于Ka波段的反射式模拟预失真电路,该电路基于90°电桥、肖...
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刊名： 真空科学与技术学报发表期刊： 2016年1期页码:摘要： 本文开展了活性物质为钨酸钡锶的浸渍式钨酸盐钡钨阴极的研究,主要包括钨酸钡锶盐的合成,浸渍式钨酸钡锶阴极的制备及其发射性能的测试.实验结果表明:在1400℃空气气氛中合成了主要相为Ba3WO6...
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刊名： 真空科学与技术学报发表期刊： 2016年1期页码:摘要： 钢液真空精炼系统的抽真空设备通常采用多级串联的蒸汽喷射真空泵.由于蒸汽喷射泵具有运行所需蒸汽与冷却水耗量大的缺点,导致生产运营成本很高,因此节能型水环泵替代多级串联蒸汽喷射泵最后一级蒸汽喷射...
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刊名： 真空科学与技术学报发表期刊： 2016年1期页码:摘要： 为了解决大型空间环境模拟设备真空容器的传统设计方法效率低,且无法进行可靠性分析等问题,将可靠性设计及优化设计方法相结合,给出了真空容器可靠性指数的定义并建立了真空容器可靠性优化数学模型.进而...
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刊名： 真空科学与技术学报发表期刊： 2016年1期页码:摘要： 基于利用低品位热源探求新的节能途径以降低海水淡化成本的目的,借用热管的高热流密度传热特性设计并搭建了盐溶液在真空条件下的雾化闪蒸水分离实验台,实验初步测试了影响水分离率的主要因素,分析了不同...
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刊名： 真空科学与技术学报发表期刊： 2016年1期页码:摘要： 针对真空干燥时单体玉米颗粒内部的传热传质过程,开展基于三维实体模型的模拟研究.使用高精度CT扫描玉米颗粒,图像经MIMICS、ANSYS处理,建立实体模型.以傅里叶传热方程、菲克扩散方程作为...
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刊名： 真空科学与技术学报发表期刊： 2016年1期页码:摘要： 铜浮渣是粗铅火法精炼除铜过程的产物,针对铜浮渣现有工艺流程长,环境污染,工作环境差等缺点,本文采用"真空蒸馏-分级冷凝"的方法,对铜浮渣进行脱硫和脱铅以及回收铜银锑的应用研究,对金属及硫化物...
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刊名： 真空科学与技术学报发表期刊： 2016年1期页码:摘要： 提出了一种利用真空蒸馏从脆硫铅锑精矿中分离闪锌矿的方法,从理论上分析了闪锌矿与脆硫铅锑精矿分离的可行性并开展了实验研究.理论计算结果表明,Sb2S3,PbS,ZnS和FeS在实验温度范围内挥...
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刊名： 真空科学与技术学报发表期刊： 2016年1期页码:摘要： 利用脉冲激光沉积法在玻璃衬底上生长、并经Ar保护下快速退火制备SnS薄膜.利用X射线衍射、拉曼光谱、X射线能量色散谱、原子力显微镜、紫外-可见-近红外分光光度计等表征手段,对不同条件(脉冲激...
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刊名： 真空科学与技术学报发表期刊： 2016年1期页码:摘要： 采用磁控溅射法制备了不同C含量的NbVCN薄膜,研究了C含量对NbVCN薄膜微观结构、力学及摩擦磨损性能的影响.结果表明:四元NbVCN薄膜微观结构受C含量影响显著,当C含量小于6.3％,薄...
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15. 静电卡盘与晶圆之间的接触热阻研究刊名： 真空科学与技术学报发表期刊： 2016年1期页码:摘要： 在等离子体刻蚀工艺中,晶圆的温度控制是关键的技术之一.控制晶圆温度的主要部件即是静电卡盘,因此静电卡盘与晶圆之间的接触热阻研究至关重要.晶圆是依靠静电而吸附在静电卡盘表面的,且粗糙接触面之间...
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16. 高深宽比的TSV制作与填充技术刊名： 真空科学与技术学报发表期刊： 2016年1期页码:摘要： 硅通孔技术是三维集成电路中堆叠芯片实现互连的一种新的技术解决方案.本文介绍了TSV的制作与填充技术,通过优化ICP刻蚀工艺,实现了上口尺寸14.41 μtm、下口尺寸8.83μm、深度331...
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17. 全自动薄膜应力仪刊名： 真空科学与技术学报发表期刊： 2016年1期页码:摘要： 基于基片弯曲法原理,利用光杠杆放大曲率的方法,本工作研制了一套高精度全自动薄膜应力测试仪.在前期工作的基础上,该仪器实现了样品中心自动定位,样品表面曲率半径高精度测试,以及薄膜残余应力值自动...
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刊名： 真空科学与技术学报发表期刊： 2016年1期页码:摘要： 反应腔室晶片表面温度分布是影响薄膜沉积均匀性的重要因素.本文以载有晶片的典型化学气相沉积反应腔室为研究对象,考虑了晶片与加热盘之间的微小间隙导致的低压下流固接触面的温度跳跃现象,建立了腔室温...
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刊名： 真空科学与技术学报发表期刊： 2016年1期页码:摘要： 采用原子层沉积系统中自带的等离子体发生器产生N2等离子体直接处理InP表面,系统地研究了氮化对Al2O3/InP金属氧化物半导体(MOS)电容界面特性及栅漏电特性的影响.实验结果表明,氮化能...
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刊名： 真空科学与技术学报发表期刊： 2016年1期页码:摘要： 简要阐述了太阳帆航天器的概念、推进原理,并对其技术特性、应用优势进行了分析.介绍了太阳帆航天器的研究现状,重点阐述了国外成功案例的具体细节,总结了国外对于太阳帆航天器的最新研究计划,分析了未...
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刊名： 真空科学与技术学报发表期刊： 2016年2期页码:摘要： 采用磁控溅射物理气相沉积法沉积了不同含C量(0 ～20.7％(原子比))的WAlCN复合膜.利用X射线衍射和Raman表征了WAlCN膜的微结构;用扫描电镜、压痕仪和高温摩擦磨损仪等研究了其...
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刊名： 真空科学与技术学报发表期刊： 2016年2期页码:摘要： 采用空心阴极离子束辅助多弧离子镀技术在高速钢表面沉积(Ti,Al)N硬质膜,并将其分别在空气和保护气氛中、不同温度下加热,研究膜层的热稳定性.利用X射线衍射和差热分析方法确定了相组成及其变化...
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刊名： 真空科学与技术学报发表期刊： 2016年2期页码:摘要： 为了改善类金刚石(DLC)膜在真空环境下的摩擦磨损性能,以满足其在航天领域的应用需求.本文通过离子注入与沉积技术制备了显微硬度高于20 GPa、膜基附着力大于200 mN的掺钨DLC膜,并探...
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刊名： 真空科学与技术学报发表期刊： 2016年2期页码:摘要： 采用射频磁控溅射技术在Si(111)衬底上生长ZnO基陶瓷薄膜,分别在650℃,750℃,850℃和900℃下退火,研究了退火温度对ZnO基陶瓷薄膜压敏性能的影响.结果表明,随着退火温度的升...
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刊名： 真空科学与技术学报发表期刊： 2016年2期页码:摘要： 近年来超硬涂层的出现,为高速切削、干式切削的高质量刀具的发展,提供了契机.本文开展了磁控溅射法制备TiAlSiN涂层的工艺研究,在不同工艺下,获得了厚度2.0 ～4.0 μm的TiAlSiN...
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刊名： 真空科学与技术学报发表期刊： 2016年2期页码:摘要： 以低硅钢片为基底(Fe-3％质量比Si),采用双靶直流共焦溅射不同叠加结构的硅-铁多层膜系(Fe-Si),然后在高真空下热扩散处理2h得到高硅钢.研究了交替沉积、叠加周期性结构多层膜对热处理...
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刊名： 真空科学与技术学报发表期刊： 2016年2期页码:摘要： 为研究锡砷化合物真空下热分解的机理,对Sn4As3和SnAs化合物进行真空条件下热分解的热力学计算,得到它们30 Pa的条件下开始发生反应的温度.采用基于密度泛函理论的平面波赝势法计算得到S...
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刊名： 真空科学与技术学报发表期刊： 2016年2期页码:摘要： 采用密度泛函理论中的广义梯度近似对SnmAsn(m+n≤6)团簇的各种可能构型进行了几何参数全优化,得到相应的基态结构;并对基态构型的平均结合能、Mulliken布居和偶极矩进行了系统研究....
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刊名： 真空科学与技术学报发表期刊： 2016年2期页码:摘要： 简单分析了“烧结-鼓风炉熔炼-吹炼法”处理脆硫铅锑矿存在的问题,并对真空冶金法处理脆硫铅锑精矿铅、锑、铁挥发控制条件进行了实验研究,研究结果表明:在蒸馏温度为1523 K、蒸馏时间为60 m...
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刊名： 真空科学与技术学报发表期刊： 2016年2期页码:摘要： 为了研究大面积等离子体片的分层特性,利用脉冲磁约束线形空心阴极放电装置,在150 Pa氦气中产生了持续时间为200 μs、面积为60 cm×60 cm的大面积等离子体片.采用快帧法和旋转空心...
真空科学与技术学报基本信息
| 刊名 | 真空科学与技术学报 | 主编 | 吴锦雷 |
| 曾用名 | 真空科学与技术 | ||
| 主办单位 | 中国真空学会 | 主管单位 | 中国科学技术协会 |
| 出版周期 | 月刊 | 语种 |
chi
|
| ISSN | 1672-7126 | CN | 11-5177/TB |
| 邮编 | 100022 | 电子邮箱 | vst@chinesevacuum.com |
| 电话 | 010-58206280 | 网址 | |
| 地址 | 北京市朝阳区建国路93号万达广场9号楼614室 |
真空科学与技术学报评价信息
该刊被以下数据库收录
| 1. | 化学文摘(美) |
| 2. | 中国科学引文数据库 |
| 3. | 日本科学技术振兴机构数据库(日) |
| 4. | 中国科技论文统计与引文分析数据库 |
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