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射频磁控反应溅射
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TIN膜
射频反应
溅射
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相关学者/机构
期刊影响力
四川真空
主办单位：
四川省真空学会
国投南光有限公司
出版周期：
半年刊
ISSN：
CN：
开本：
出版地：
成都市第109信箱207分箱
邮发代号：
创刊时间：
语种：
出版文献量（篇）
395
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