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介电击穿
漏电流
内容分析
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文献信息
篇名 射频溅射制备LNBN介电薄膜
来源期刊 薄膜科学与技术 学科 工学
关键词 射频溅射 介电薄膜 LNBN化合物
年,卷(期) 1991,(1) 所属期刊栏目
研究方向 页码范围 7-15
页数 9页 分类号 TM215.3
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研究主题发展历程
节点文献
射频溅射
介电薄膜
LNBN化合物
研究起点
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期刊影响力
薄膜科学与技术
双月刊
南京1601信箱43分箱
出版文献量(篇)
327
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