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反应离子刻蚀（RIE）腐蚀双层金属布线中介质孔及有关...
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文献信息
| 篇名 | 反应离子刻蚀（RIE）腐蚀双层金属布线中介质孔及有关... | ||
| 来源期刊 | 上海半导体 | 学科 | 工学 |
| 关键词 | 反应离子刻蚀 腐蚀 金属布线 AES | ||
| 年，卷（期） | shwdzjshyy,（1） | 所属期刊栏目 | |
| 研究方向 | 页码范围 | 21-25 | |
| 页数 | 5页 | 分类号 | TN405.983 |
| 字数 | 语种 | ||
| DOI | |||
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研究主题发展历程
节点文献
反应离子刻蚀
腐蚀
金属布线
AES
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引文网络交叉学科
相关学者/机构
期刊影响力
上海微电子技术和应用
主办单位：
出版周期：
季刊
ISSN：
1006-9453
CN：
31-1239/TN
开本：
出版地：
上海市胶州路397号 上海半导体器件研究
邮发代号：
创刊时间：
语种：
出版文献量（篇）
435
总下载数（次）
3
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