分子束外延HgCdTe材料生长参数的实时监测研究

• 作者: 乔怡敏 于梅芳 何力 巫艳 杨建荣 王善力 袁诗鑫
• 来源期刊: 红外与毫米波学报
• 学科: 工学
• 关键词: 分子束外延 HgCdTe 实时监测 椭圆偏振 红外辐射测温
• 年，卷（期）: 1998,（4）
• 页码范围: 287-291
• 页数: 5页
• 分类号: TN2
• 字数: 3567字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1001-9014.1998.04.009

摘要

报道了用椭圆偏振技术和红外辐射测温技术对HgCdTe生长关键参数实时监测的结果,建立了HgCdTe材料在生长温度下的标准光学常数数据库,在研究中对生长过程中材料的发射率以及红外辐射强度进行了理论分析,为生长温度的实时精确控制提供了理论依据,并在实验上获得了小于士1℃的生长温度控制精度.