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摘要:
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SiNx和SiNx/SiOx薄膜的荧光和红外吸收光谱研究
SiNx
薄膜
SiOx
光致发光
红外吸收
纳米晶硅多层薄膜的低温调控及其发光特性
纳米晶硅
多层薄膜
显微结构
低温过程控制
纳米粒子
光致发光
射频磁控溅射制备铝酸锶长余辉发光薄膜
磁控溅射
铝酸锶
长余辉
薄膜
用甩胶喷雾热分解方法制备羧酸铕配合物光致发光薄膜的研究
甩胶喷雾热分解
羧酸铕配合物
光致发光
薄膜
内容分析
关键词云
关键词热度
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文献信息
篇名 反应蒸发制备nmSi-SiOx发光薄膜
来源期刊 真空科学与技术学报 学科
关键词
年,卷(期) 1999,(5) 所属期刊栏目
研究方向 页码范围 331
页数 分类号
字数 语种 中文
DOI 10.3969/j.issn.1672-7126.1999.05.003
五维指标
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2008(1)
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期刊影响力
真空科学与技术学报
月刊
1672-7126
11-5177/TB
大16开
北京市朝阳区建国路93号万达广场9号楼614室
1981
chi
出版文献量(篇)
4084
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3
总被引数(次)
19905
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