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反应蒸发制备nmSi-SiOx发光薄膜
反应蒸发制备nmSi-SiOx发光薄膜
作者:
张仕国
樊瑞新
邓晓清
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摘要:
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文献信息
篇名
反应蒸发制备nmSi-SiOx发光薄膜
来源期刊
真空科学与技术学报
学科
关键词
年,卷(期)
1999,(5)
所属期刊栏目
研究方向
页码范围
331
页数
分类号
字数
语种
中文
DOI
10.3969/j.issn.1672-7126.1999.05.003
五维指标
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期刊影响力
真空科学与技术学报
主办单位:
中国真空学会
出版周期:
月刊
ISSN:
1672-7126
CN:
11-5177/TB
开本:
大16开
出版地:
北京市朝阳区建国路93号万达广场9号楼614室
邮发代号:
创刊时间:
1981
语种:
chi
出版文献量(篇)
4084
总下载数(次)
3
总被引数(次)
19905
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