基于压阻效应的厚膜力敏材料及传感器

• 作者: 宋箭 常慧敏 马以武
• 来源期刊: 电子元件与材料
• 学科: 工学
• 关键词: 厚膜技术 压阻效应 力敏传感器
• 年，卷（期）: 1999,（5）
• 所属期刊栏目: 科技动态
• 页码范围: 39-41
• 分类号: TN304
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-2028.1999.05.018

摘要

介绍了厚膜电阻的压阻效应、厚膜力敏材料及传感器.描述了厚膜力敏材料及传感器的现状,着重阐述了厚膜压力传感器和力传感器的结构和工艺特点,并讨论了提高其性能的途径及其发展趋势.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	马以武	中国科学院合肥智能机械研究所传感技术国家重点实验室	23	62	5.0	7.0
2	宋箭	中国科学院合肥智能机械研究所传感技术国家重点实验室	1	6	1.0	1.0
3	常慧敏	中国科学院合肥智能机械研究所传感技术国家重点实验室	3	8	1.0	2.0