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磁控溅射CNx薄膜的结构与硬度关系研究
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主办单位：
中国科学院国家自然科学基金委员会
出版周期：
旬刊
ISSN：
0023-074X
CN：
11-1784/N
开本：
大16开
出版地：
北京东城区东黄城根北街16号
邮发代号：
80-213
创刊时间：
1950
语种：
chi
出版文献量（篇）
11887
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