蓝宝石/氮化铝衬底上SiC外延薄膜的X射线衍射分析

• 作者: 彭军 朱作云 杨银堂 贾护军 郑有炓 郭振琪
• 来源期刊: 西安电子科技大学学报（自然科学版）
• 学科: 工学
• 关键词: 蓝宝石/氮化铝复合衬底 X射线衍射 晶格失配
• 年，卷（期）: 2000,（2）
• 所属期刊栏目: 学术论文和技术报告
• 页码范围: 186-189
• 页数: 4页
• 分类号: TN304.24
• 字数: 2265字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-2400.2000.02.012

摘要

介绍了在蓝宝石/氮化铝复合衬底上外延生长碳化硅薄膜材料的工艺技术.通过在蓝宝石衬底上预淀积一层薄的氮化铝缓冲层使碳化硅薄膜的成核和黏附性得到很大的改善.用多种X光衍射方法对生长在蓝宝石/氮化铝复合衬底上的碳化硅薄膜的结构进行了分析,结果表明,可在这种衬底上成功地生长出6H-SiC单晶薄膜.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	杨银堂	西安电子科技大学微电子所	420	2932	23.0	32.0
2	贾护军	西安电子科技大学微电子所	25	131	7.0	10.0
3	朱作云	西安电子科技大学微电子所	13	98	6.0	9.0
4	郑有炓	南京大学物理系	78	353	11.0	15.0
5	郭振琪	西北大学分析测试研究中心	10	100	6.0	10.0
6	彭军	西安电子科技大学微电子所	10	97	3.0	9.0