α-SiOxNy薄膜中分立能级的光发射

• 作者: 梁厚蕴 石旺舟
• 来源期刊: 半导体学报
• 学科: 物理学
• 关键词: α-SiOxNy 光发射
• 年，卷（期）: 2000,（11）
• 所属期刊栏目: 研究论文
• 页码范围: 1103-1106
• 页数: 4页
• 分类号: O433.1
• 字数: 1707字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0253-4177.2000.11.012

摘要

采用PECVD法制备了α-SiOxNy薄膜,观察到两组分立能级的强荧光发射,一组位于紫外光波段,由三个可分辨的发射峰组成,波长分别为330、340和345nm;另一组位于红光波段,由两个发射峰组成,波长分别为735nm和745nm.发射峰依赖于薄膜中氧和氮的同时存在,其强度首先随薄膜中其含量的增加而增强,达到饱和值后,随着其含量的进一步增加而下降.这表明发射峰可能起源于O-Si-N结合而形成的发光中心.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	石旺舟	汕头大学功能薄膜材料研究室	15	85	5.0	9.0
2	梁厚蕴	汕头大学功能薄膜材料研究室	4	31	2.0	4.0