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KrF光刻:使命未尽
KrF光刻:使命未尽
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摘要：
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KrF准分子激光刻蚀PMMA研究
激光技术
光与物质相互作用
激光刻蚀
高分子聚合物
有机玻璃
光刻膜片在膜片阀中的应用
膜片阀
光刻
高功率KrF准分子激光光束平滑技术实验研究
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248 nm Krf激光投影成像系统设计与参数分析
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期刊影响力
电子工业专用设备
主办单位：
中国电子科技集团公司第四十五研究所
出版周期：
双月刊
ISSN：
1004-4507
CN：
62-1077/TN
开本：
大16开
出版地：
北京市朝阳区安贞里三区26号浙江大厦913室
邮发代号：
创刊时间：
1971
语种：
chi
出版文献量（篇）
3731
总下载数（次）
31
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