BG-102型分步投影光刻机减振台研制

• 作者: 雷鸣
• 来源期刊: 电子工业专用设备
• 学科: 工学
• 关键词: 减振台 空气弹簧 高度阀 压力 流量 隔振 减振
• 年，卷（期）: 2001,（3）
• 所属期刊栏目: 论文研制报告
• 页码范围: 20-25
• 页数: 6页
• 分类号: TB123
• 字数: 2273字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-4507.2001.03.004

摘要

概述了BG-102型分步投影光刻机减振台的空气弹簧和高度阀的结构和工作原理,同时介绍了有关技术参数设计.重点讨论了减振台的结构设计和自动水平校正的机理.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	雷鸣		2	1	1.0	1.0