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摘要:
应用AlGaN/GaN异质结中的压电极化和自发极化边界条件自洽求解了薛定谔方程和泊松方程,求出了异质结能带和二维电子气分布.研究了势垒层组分比、势垒层宽度、沟道层掺杂和栅电压变化对二维电子气特性的影响.着重研究了栅电压对二维电子气特性的控制作用,提出了使用薄势垒和重掺杂沟道的新HFET结构.
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文献信息
篇名 AlGaN/GaN二维电子气的特性研究
来源期刊 半导体情报 学科 工学
关键词 异质结能带 二维电子气 结构设计
年,卷(期) 2001,(6) 所属期刊栏目 研究探讨
研究方向 页码范围 47-51
页数 5页 分类号 TN3
字数 3042字 语种 中文
DOI 10.3969/j.issn.1671-4776.2001.06.013
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作者信息
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研究主题发展历程
节点文献
异质结能带
二维电子气
结构设计
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研究分支
研究去脉
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微纳电子技术
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