多晶硅发射极超高速集成电路工艺

• 作者: 倪学文 张利春 王阳元
• 来源期刊: 半导体学报
• 学科: 工学
• 关键词: 多晶硅发射极 超高速 集成电路 工艺研究
• 年，卷（期）: 2001,（6）
• 页码范围: 811-816
• 页数: 6页
• 分类号: TN43
• 字数: 6466字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0253-4177.2001.06.029

摘要

报道了具有先进双极

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王阳元	北京大学微电子所	78	1128	15.0	32.0
2	倪学文	北京大学微电子所	15	60	5.0	7.0
3	张利春	北京大学微电子所	18	48	4.0	5.0