同步辐射讲座第五讲微电子机械系统加工新方法--LIGA技术

• 作者: 伊福庭 刘刚 彭良强 田扬超
• 来源期刊: 物理
• 学科: 工学
• 关键词: LIGA技术 微电子机械系统 同步辐射光刻
• 年，卷（期）: 2002,（11）
• 所属期刊栏目: 讲座
• 页码范围: 736-740
• 页数: 5页
• 分类号: TN4
• 字数: 4833字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0379-4148.2002.11.010

摘要

简述了微电子机械系统的起源和特点,介绍了LIGA技术的基本原理以及一些相关技术,对同步辐射深度光刻的技术要求进行了详细地说明,并介绍了国内外利用LIGA技术进行微电子机械系统研发的现状.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	刘刚	中国科学技术大学国家同步辐射实验室	207	2369	24.0	40.0
2	彭良强	中国科学院高能物理研究所同步辐射实验室	24	141	7.0	11.0
3	田扬超	中国科学技术大学国家同步辐射实验室	50	372	12.0	17.0
4	伊福庭	中国科学院高能物理研究所同步辐射实验室	2	13	2.0	2.0