真空退火对VOx薄膜相结构及表面形貌的影响

• 作者: 何延春 王洁冰 许旻 赵印中 邱家稳 郭宁
• 来源期刊: 真空与低温
• 学科: 物理学
• 关键词: 真空退火 无机溶胶-凝胶法 VOx薄膜 相结构 表面形貌
• 年，卷（期）: 2003,（3）
• 所属期刊栏目: 研究报告
• 页码范围: 148-151
• 页数: 4页
• 分类号: O484.1
• 字数: 2174字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1006-7086.2003.03.005

摘要

以V2O5粉末为原料,采用无机溶胶-凝胶法制备了V2O5凝胶膜,经过真空退火处理得到了以VO2为主的薄膜.利用X射线衍射(XRD)和原子力显微镜(AFM)对不同实验条件下得到的薄膜的物相和表面形貌进行分析,得出了VOx薄膜相结构及表面形貌与真空退火条件之间的关系.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	何延春		19	211	9.0	14.0
2	邱家稳		44	477	14.0	20.0
3	许旻		21	233	10.0	14.0
4	王洁冰		17	208	9.0	14.0
5	郭宁		15	197	10.0	14.0
6	赵印中		13	185	8.0	13.0