光刻技术的发展与光刻胶的应用

• 来源期刊: 集成电路应用
• 学科: 工学
• 关键词: 光刻技术 光刻胶 应用 发展
• 年，卷（期）: 2003,（6）
• 页码范围: 69-75
• 页数: 7页
• 分类号: TN405
• 语种: 中文

摘要

该文根据超大规模集成电路光刻技术的不断发展对与之配套的光刻胶的不同要求,阐述了国内外光刻胶的现状、应用和发展状况等.