化学液相沉积法制备AlxOy薄膜

• 作者: 孙捷 宋昌烈 李成仁 李淑凤 胡礼中 饶文雄
• 来源期刊: 哈尔滨工业大学学报
• 学科: 物理学
• 关键词: 化学液相沉积法(CLPD) Al2O3薄膜 铒
• 年，卷（期）: 2003,（6）
• 页码范围: 668-670
• 页数: 3页
• 分类号: O484.1
• 字数: 2230字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0367-6234.2003.06.008

摘要

给出了用化学液相沉积法(CLPD)制备AlxOy/Si薄膜的方法,室温下生长2 h得到AlxOy/Si薄膜,其退火温度为1 000 ℃,退火时间2 h.对薄膜的显微硬度、成分和结构进行了检测和分析.结果表明,薄膜的显微硬度在退火前为5 202.0 N/mm2,退火后为14 533.5 N/mm2,增加近3倍;高温退火去掉了膜内的OH-1,同时使薄膜晶化, 晶体薄膜的O/Al比例为1.3.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	胡礼中	大连理工大学物理系	28	160	8.0	11.0
2	李淑凤	大连理工大学物理系	36	296	11.0	15.0
3	李成仁	大连理工大学物理系	26	242	11.0	14.0
4	宋昌烈	大连理工大学物理系	31	319	12.0	16.0
5	饶文雄	大连理工大学物理系	7	69	5.0	7.0
6	孙捷	大连理工大学物理系	3	46	3.0	3.0