AZO薄膜双靶PLD沉积及其光学性能分析

• 作者: 江超 王又青 胡少六 龙华
• 来源期刊: 压电与声光
• 学科: 工学
• 关键词: 脉冲激光沉积 AZO薄膜 双靶
• 年，卷（期）: 2004,（2）
• 所属期刊栏目: 压电及其他功能器件
• 页码范围: 119-121
• 页数: 3页
• 分类号: TN248.1
• 字数: 2293字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-2474.2004.02.011

摘要

介绍了利用锌靶和铝靶在氧气气氛中进行掺铝氧化锌(AZO)透明导电薄膜的脉冲激光沉积(PLD)新方法,并与利用ZnO陶瓷靶沉积AZO薄膜的方法进行了对比,分析了此方法的优势和特点.描述了利用该方法在玻璃和硅片上沉积AZO薄膜的实验过程.通过透射光谱分析了沉积的透明导电膜在可见光区的透射性能,用X-射线衍射谱(XRD)研究了薄膜的结构.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	胡少六	华中科技大学激光技术国家重点实验室	21	359	10.0	18.0
2	江超	华中科技大学激光技术国家重点实验室	32	253	9.0	14.0
6	王又青	华中科技大学激光技术国家重点实验室	57	521	12.0	20.0
7	龙华	华中科技大学激光技术国家重点实验室	23	294	9.0	16.0