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微电子机械系统(MEMS)器件中的普通物理学原理
微电子机械系统(MEMS)器件中的普通物理学原理
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摘要：
简要介绍了微电子机械系统,一个新兴的高新技术领域,并以微机械陀螺和加速度计结构为例说明了物理学基本原理在MEMS器件中的应用.
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文献信息
| 篇名 | 微电子机械系统(MEMS)器件中的普通物理学原理 | ||
| 来源期刊 | 北京广播学院学报（自然科学版） | 学科 | 工学 |
| 关键词 | 微电子机械系统器件 物理学 | ||
| 年，卷（期） | 2004,（2） | 所属期刊栏目 | |
| 研究方向 | 页码范围 | 24-27,58 | |
| 页数 | 5页 | 分类号 | TN301|O313 |
| 字数 | 3122字 | 语种 | 中文 |
| DOI | 10.3969/j.issn.1673-4793.2004.02.005 | ||
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研究主题发展历程
节点文献
微电子机械系统器件
物理学
研究起点
研究来源
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引文网络交叉学科
相关学者/机构
期刊影响力
中国传媒大学学报(自然科学版)
主办单位：
中国传媒大学
出版周期：
双月刊
ISSN：
1673-4793
CN：
11-5379/N
开本：
16开
出版地：
北京市朝阳区定福庄东街1号（中国传媒大学30号信箱）
邮发代号：
创刊时间：
1994
语种：
chi
出版文献量（篇）
1230
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8
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