低压ZnO压敏薄膜制备与研究

• 来源期刊: 真空科学与技术学报
• 学科: 化学
• 关键词: ZnO低压压敏薄膜 结构 非线性系数 压敏电压
• 年，卷（期）: 2004,（z1）
• 所属期刊栏目: 技术交流
• 页码范围: 68-70
• 页数: 3页
• 分类号: O63
• 字数: 1414字
• 语种: 中文

摘要

以GDARE法沉积的低压ZnO压敏薄膜为多孔性超微粒结构,沿c轴高度取向.经一定温度热处理后,薄膜具有较好的非线性V-I特性,漏电流小,压敏电压低.温度对薄膜的V-I特性影响较大.文章讨论了ZnO低压压敏薄膜的导电机理.