100nm线宽的掩模硅片自动对准算法

• 作者: 周金梅 曹益平 梁友生 邢廷文
• 来源期刊: 电子工业专用设备
• 学科: 工学
• 关键词: 掩模硅片 对准 对准模型 坐标阵列 最小二乘法
• 年，卷（期）: 2004,（9）
• 所属期刊栏目: 光学光刻技术
• 页码范围: 63-67
• 页数: 5页
• 分类号: TN305.7
• 字数: 3563字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-4507.2004.09.016

摘要

对100nm线宽尺寸建立了掩模硅片自动对准数学模型,应用于同轴加离轴对准系统的硅片模型、掩模模型以及工件台模型中,该对准算法模型有一定可行性,能很好地满足100nm线宽对准精度的要求.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	曹益平	四川大学光电科学技术系	136	874	15.0	24.0
2	邢廷文	中国科学院光电技术研究所微细加工光学技术国家重点实验室	67	501	11.0	17.0
3	周金梅	中国科学院光电技术研究所微细加工光学技术国家重点实验室	9	75	4.0	8.0
4	梁友生	四川大学光电科学技术系	6	63	4.0	6.0