CuInSe2纳米颗粒膜的磁控溅射制备和特性分析

• 作者: 孙海燕 苗晔
• 来源期刊: 真空电子技术
• 学科: 物理学
• 关键词: 铜铟硒 射频溅射 纳米颗粒膜
• 年，卷（期）: 2004,（3）
• 所属期刊栏目: 工艺与应用
• 页码范围: 40-42
• 页数: 3页
• 分类号: O484
• 字数: 1586字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1002-8935.2004.03.011

摘要

采用Cu,In,Se三元扇形复合靶,在玻璃基片上用射频磁控反应溅射技术制备CuInSe2(CIS)纳米颗粒膜.CIS颗粒的大小可通过改变溅射功率、基片温度和膜厚来调节.测量并讨论了所制备的CIS纳米颗粒膜的内部晶相结构、电阻率、导电类型以及光吸收等性质.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	孙海燕	烟台大学环境与材料工程学院	8	130	5.0	8.0
2	苗晔	烟台大学光电信息科学技术学院	5	19	2.0	4.0