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硅单晶直拉区熔法
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摘要：
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实用型硅单晶中氧、碳含量自动测量系统
硅中氧
碳含量
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傅里叶变换红外光谱
PVT法制备4英寸碳化硅单晶研究
4英寸
碳化硅
横向延展
计算机模拟
直拉硅单晶中位错的光致发光
位错
氧沉淀
光致发光
直拉硅单晶生长过程建模与控制研究综述
直拉硅单晶
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有色冶金节能
主办单位：
中国有色工程有限公司
出版周期：
双月刊
ISSN：
1008-5122
CN：
11-4011/TF
开本：
大16开
出版地：
北京复兴路12号
邮发代号：
创刊时间：
1984
语种：
chi
出版文献量（篇）
2699
总下载数（次）
2
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