用电子显微镜剖析存储器器件

• 作者: 刘剑霜 胡刚 谢锋 陈一
• 来源期刊: 半导体技术
• 学科: 工学
• 关键词: 扫描电子显微镜 透射电子显微镜 栅氧化层
• 年，卷（期）: 2004,（5）
• 所属期刊栏目: 支撑技术
• 页码范围: 68-71
• 页数: 4页
• 分类号: TN16|TP333.5
• 字数: 3039字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1003-353X.2004.05.021

摘要

简要介绍了扫描电镜(SEM)和透射电镜(TEM)两种当前主要的电子显微分析工具在存储器器件分析过程中的应用,讨论了它们各自的适用范围以及测量精度,指出两者的有机结合可以得到比较全面的分析结果.