应用晶片键合技术制作激光器

• 作者: 牛健 花吉珍 赵卫青 陈国鹰
• 来源期刊: 半导体技术
• 学科: 工学
• 关键词: 晶片键合技术 脊波导 激光器
• 年，卷（期）: 2004,（11）
• 所属期刊栏目: 支撑技术
• 页码范围: 45-48
• 页数: 4页
• 分类号: TN248.4
• 字数: 2408字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1003-353X.2004.11.014

摘要

针对于普通外延生长GaAs衬底激光器材料中存在的位错严重、热胀系数不匹配等问题,总结了国外键合工艺,将其应用于发光波长为850nm的AlGaAs脊波导量子阱激光器的制造,并提出了键合过程中各项关键步骤应注意的问题和解决方法.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	陈国鹰	河北工业大学研究生学院	62	307	9.0	12.0
2	花吉珍	中国电子科技集团公司第十三研究所	18	74	5.0	7.0
3	牛健	河北工业大学研究生学院	3	6	1.0	2.0
4	赵卫青	河北工业大学研究生学院	2	5	1.0	2.0