衬底温度对ZnO薄膜晶体结构和迁移率的影响

• 作者: 孔繁之 潘志峰 袁一方
• 来源期刊: 中国激光
• 学科: 物理学
• 关键词: ZnO薄膜 晶体结构 迁移率
• 年，卷（期）: 2004,（z1）
• 所属期刊栏目: 光束传输与控制,材料、薄膜及元器件
• 页码范围: 462-464
• 页数: 3页
• 分类号: O484.4
• 字数: 1285字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0258-7025.2004.z1.154

摘要

衬底温度是影响ZnO薄膜特性的重要因素,可以在很大程度上改变薄膜的结晶结构,温度高低直接影响衬底表面吸附原子的表面迁移率,再蒸发和结晶情况.在室温下测量了不同温度生长的ZnO薄膜的X射线衍射(XRD)曲线,探讨了最佳结晶质量所需的衬底温度.另外,从迁移率随温度的变化曲线上也得到同样的结果.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	袁一方	上海理工大学光电学院	80	554	14.0	20.0
2	孔繁之	济宁医学院物理教研室	33	135	8.0	9.0