液相外延生长薄膜的衬底夹具

• 作者: 何晓明 徐军 王海丽 赵广军
• 来源期刊: 科技开发动态
• 学科: 工学
• 关键词: 液相外延生长薄膜 衬底夹具 定位腔 安装
• 年，卷（期）: 2004,（3）
• 页码范围: 40
• 页数: 1页
• 分类号: TB43
• 语种: 中文

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	徐军	中国科学院上海光学精密机械研究所	290	2418	22.0	34.0
2	赵广军	中国科学院上海光学精密机械研究所	55	422	11.0	16.0
3	何晓明	中国科学院上海光学精密机械研究所	19	100	7.0	9.0
4	王海丽	中国科学院上海光学精密机械研究所	11	21	3.0	4.0