微电子用硅溶胶的纯化

• 作者: 刘玉岭 张建新 王娟
• 来源期刊: 半导体技术
• 学科: 工学
• 关键词: 硅溶胶 纯化 杂质
• 年，卷（期）: 2005,（9）
• 所属期刊栏目: 技术专栏(环保、洁净与清洗技术)
• 页码范围: 17-19
• 页数: 3页
• 分类号: TN405
• 字数: 1965字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1003-353X.2005.09.007

摘要

对微电子工艺中引入杂质的危害进行了阐述,找出现有硅溶胶距离实际应用的不足,发掘其纯化工艺,为微电子用硅溶胶的广泛应用提供了前提条件.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	刘玉岭	河北工业大学微电子研究所	263	1540	17.0	22.0
2	王娟	河北工业大学微电子研究所	40	220	8.0	12.0
3	张建新	河北工业大学微电子研究所	45	348	10.0	15.0