铝基板阳极氧化成膜温度与膜层结构

• 作者: 傅仁利 杨克涛
• 来源期刊: 电子元件与材料
• 学科: 工学
• 关键词: 复合材料 铝基板 阳极氧化 草酸 破坏温度
• 年，卷（期）: 2005,（9）
• 所属期刊栏目: 研究与试制
• 页码范围: 52-54
• 页数: 3页
• 分类号: TB333
• 字数: 2231字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-2028.2005.09.017

摘要

对铝基板在草酸体系下阳极氧化成膜温度进行了研究,发现膜的起始破坏温度为32.5℃,而与草酸电解液的浓度关系不大.通过XRD、SEM对膜层进行了分析,并测试了膜层的绝缘性能.结果表明:氧化膜层是以非晶态形式存在的,膜表面存在直径80 nm左右的针状物,形成Al(OH)3水合物.较高溶液温度下,草酸的溶解作用加剧了膜层断面开裂、膜质疏松等缺陷,严重影响着膜层的绝缘性能,温度不超过32.5℃,能得到均匀、致密的膜层.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	傅仁利	南京航空航天大学材料科学与技术学院	55	577	15.0	21.0
2	杨克涛	南京航空航天大学材料科学与技术学院	6	75	5.0	6.0