磁控反应溅射沉积CrN薄膜的抗氧化性研究

• 作者: 李钦虎 王军
• 来源期刊: 表面技术
• 学科: 工学
• 关键词: 磁控溅射 CrN薄膜 抗氧化性
• 年，卷（期）: 2005,（6）
• 所属期刊栏目: 试验研究
• 页码范围: 40-41,44
• 页数: 3页
• 分类号: TG174.44
• 字数: 1543字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-3660.2005.06.015

摘要

通过磁控反应溅射在H1模具钢表面沉积了CrN薄膜.用扫描电镜(SEM)、X射线衍射仪(XRD)观察了试样的表面形貌,进行了物相分析,研究了CrN薄膜的抗氧化性能,讨论了膜层的抗氧化行为和机制.结果表明:在500℃以下,CrN膜层具有良好的抗氧化性,能大大提高基体的抗氧化性能.当温度超过600℃时,由于膜层产生剥落而失去使用性能.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王军	扬州大学机械工程学院	47	270	8.0	15.0
2	李钦虎	扬州大学机械工程学院	1	32	1.0	1.0