蓝宝石衬底上射频溅射法生长CeO2外延薄膜研究

• 作者: 刘兴钊 张鹰 李言荣 李金隆 熊杰 谢廷明 陈家俊 陶伯万
• 来源期刊: 低温物理学报
• 学科: 物理学
• 关键词: YBCO超导薄膜 CeO2缓冲层 外延生长
• 年，卷（期）: 2005,（3）
• 页码范围: 234-240
• 页数: 7页
• 分类号: O51
• 字数: 2496字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-3258.2005.03.009

摘要

实验采用射频溅射法在(1 102)蓝宝石基片上制备(00l)取向CeO2外延薄膜.低温、低溅射功率都会导致CeO2薄膜呈(111)取向生长.当基片温度在700℃～750℃,溅射功率在100～150W范围内能够制备得到高质量(00l)取向CeO2缓冲层.所制备的CeO2薄膜具有优良的面内面外取向性和平整的表面.用这些缓冲层作为生长面制备得到的YBa2Cu3O7-δ(YBCO)超导薄膜为完全(00l)取向,且面内取向性良好,并具有优越的电学性能:其临界转变温度(Tc)为89.5K,临界电流密度Jc(77K,0T)约1.8×106 A/cm2,微波表面电阻Rs(77K,10GHz)大约为0.50mΩ,能较好的满足微波器件应用中的需要.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张鹰	电子科技大学微电子与固体电子学院	47	169	7.0	9.0
2	李金隆	电子科技大学微电子与固体电子学院	12	66	5.0	7.0
3	刘兴钊	电子科技大学微电子与固体电子学院	56	310	9.0	14.0
4	熊杰	电子科技大学微电子与固体电子学院	41	205	6.0	12.0
5	陶伯万	电子科技大学微电子与固体电子学院	39	165	5.0	10.0
6	陈家俊	电子科技大学微电子与固体电子学院	7	30	4.0	5.0
7	谢廷明	电子科技大学微电子与固体电子学院	4	15	2.0	3.0