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摘要:
扼要介绍微电子机械系统的特征,在军事装备和航空航天系统中的应用及其各种封装技术。
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微电子机械系统
界面(相)力学
薄膜基底结构
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微电子机械系统
微电子
光测力学
微电子机械系统中微尺度热物性研究进展
微尺度
薄膜
热物性参数
微电子机械系统
微电子机械系统的力学特性与尺度效应
微电子机械系统
硅材料
尺度效应
微执行器
微机器人
微机械
内容分析
关键词云
关键词热度
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文献信息
篇名 军用微电子机械系统的应用及封装
来源期刊 电子元器件应用 学科 工学
关键词 微电子 微机械 微电子机械系统 封装 应用
年,卷(期) 2005,(6) 所属期刊栏目
研究方向 页码范围 21-26
页数 6页 分类号 TN305.94
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1 桑荣 2 0 0.0 0.0
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研究主题发展历程
节点文献
微电子
微机械
微电子机械系统
封装
应用
研究起点
研究来源
研究分支
研究去脉
引文网络交叉学科
相关学者/机构
期刊影响力
电子元器件应用
月刊
1563-4795
大16开
西安市科技路37号海星城市广场B座240
1999
chi
出版文献量(篇)
5842
总下载数(次)
7
总被引数(次)
11366
论文1v1指导