SnO2纳米薄膜的自组装制备及表征

• 作者: 匡俊华 王可 王林斗 高明皓
• 来源期刊: 电子元件与材料
• 学科: 工学
• 关键词: 无机非金属材料 纳米薄膜 自组装单层膜 SnO2薄膜
• 年，卷（期）: 2006,（3）
• 所属期刊栏目: 研究与试制
• 页码范围: 37-39
• 页数: 3页
• 分类号: TB34|O484
• 字数: 2299字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-2028.2006.03.012

摘要

利用自组装单层膜法,在单晶硅基底上生长有机硅烷单分子膜层,并在硅烷的功能性基团上,诱导生成二氧化锡纳米薄膜,通过XPS、AFM、SEM及XRD等手段对膜材料的表面形貌和结构进行了分析.结果表明:自组装单层法制备的SnO2薄膜为晶态膜,膜层致密、均一,厚度约为20 nm,结构为金红石结构.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王林斗	天津大学电子信息工程学院	23	143	7.0	10.0
2	匡俊华	天津大学电子信息工程学院	3	23	3.0	3.0
3	王可	天津大学电子信息工程学院	5	44	4.0	5.0
4	高明皓	天津大学电子信息工程学院	3	23	3.0	3.0