端部霍尔离子源的磁场设计与数值模拟

• 作者: 唐德礼 汪礼胜 熊涛 陈庆川
• 来源期刊: 真空
• 学科: 物理学
• 关键词: 端部霍尔离子源 离子束辅助沉积 磁场 数值模拟
• 年，卷（期）: 2006,（3）
• 所属期刊栏目: 真空应用
• 页码范围: 55-58
• 页数: 4页
• 分类号: O539
• 字数: 3546字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1002-0322.2006.03.016

摘要

首先简单介绍了用于离子束辅助沉积的端部霍尔离子源的工作原理,然后分析了其性能对磁场的要求,据此介绍了磁路组件的设计.最后,采用ANSYS大型有限元分析软件对一个条形的端部霍尔离子源的磁场进行了模拟计算,并与实验结果进行了比较,获得了满意的结果.通过对模拟结果的分析,获得了对该离子源磁场分布的直观深入的认识,为具体的端部霍尔离子源的改进设计提供了理论指导.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	陈庆川		23	63	5.0	7.0
2	唐德礼		35	180	7.0	12.0
3	汪礼胜		4	35	4.0	4.0
4	熊涛		6	9	2.0	2.0