MEMS微拾振器制备工艺研究

• 作者: 刘景全 方华斌 董璐 蔡炳初 陈迪
• 来源期刊: 电子元件与材料
• 学科: 工学
• 关键词: 电子技术 微拾振器 微机电系统 固有频率 电压输出
• 年，卷（期）: 2006,（7）
• 所属期刊栏目: 研究与试制
• 页码范围: 69-71
• 页数: 3页
• 分类号: TN384
• 字数: 1753字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-2028.2006.07.023

摘要

采用微机电系统(MEMS)技术制作了悬臂梁式压电微拾振器,该技术主要包括:sol-gel法制备PZT压电膜、干法刻蚀、湿法化学刻蚀、UV-LIGA等工艺.研制的拾振器悬臂梁结构尺寸为:长2 000 μm,宽600 μm,硅膜厚度12 μm,PZT压电膜厚1.5 μm,Ni质量块长600 μm、高500 μm.测试表明其固有频率为610 Hz,适合低频振动源环境的应用.在1 gn加速度谐振激励下,电压输出达562 mV.